[实用新型]镁合金表面抗腐蚀复合涂层的涂覆设备

权利要求书

1.镁合金表面抗腐蚀复合涂层的涂覆设备，其特征在于，包括设备壳体，设置于设备壳体内的抽气用真空泵以及与真空泵相连的真空管道，真空管道与壳体内设置的转盘中心下方的抽真空通道相连通；真空泵及真空管道位于壳体下端的腔室内，转盘位于壳体上端的腔室内；

转盘通过转轴转动连接在壳体上端腔室的内底壁上，前述抽真空通道设置于转轴中心且贯通转轴设置，转轴与壳体上端腔室的内底壁密封连接，转轴上固定设置传动齿轮，传动齿轮与减速电机的输出轴上固定设置的主动齿轮相啮合，减速电机固定连接在壳体上端腔室的内底壁上；

在转轴上的传动齿轮的一侧设有与传动齿轮啮合的烘干工位齿轮，烘干工位齿轮固定连接在烘干圆盘的盘轴上，盘轴转动连接在壳体上端腔室的内底壁上，壳体上端腔室的内底壁上还设有位于烘干圆盘下方的加热器；壳体上端腔室的内顶壁上设有胶管，壳体上端腔室内设有镁合金表面抗腐蚀溶液罐，胶管与溶液罐相连，胶管上设置胶液泵，胶管的出胶口正对转盘上的基片。

2.根据权利要求1所述的镁合金表面抗腐蚀复合涂层的涂覆设备，其特征在于，所述烘干工位齿轮的轮径大于传动齿轮的轮径。

3.根据权利要求2所述的镁合金表面抗腐蚀复合涂层的涂覆设备，其特征在于，所述烘干工位齿轮与传动齿轮的啮合比为3：1～8：1。

4.根据权利要求1或3所述的镁合金表面抗腐蚀复合涂层的涂覆设备，其特征在于，所述加热器沿烘干圆盘直径方向的尺寸与烘干圆盘的半径相同，加热器固定连接在壳体上端腔室的内底壁上。

5.根据权利要求1或3所述的镁合金表面抗腐蚀复合涂层的涂覆设备，其特征在于，所述加热器沿烘干圆盘直径方向的尺寸小于烘干圆盘的半径。