[实用新型]光束切换装置、探测装置及检测设备有效
| 申请号: | 202221464784.X | 申请日: | 2022-06-13 |
| 公开(公告)号: | CN218767583U | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
| 发明(设计)人: | 王赢;张龙;陈鲁;张嵩 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;G01N21/84 |
| 代理公司: | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人: | 彭家恩 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 光束 切换 装置 探测 检测 设备 | ||
本申请公开了一种光束切换装置、探测装置及检测设备,光束切换装置应用于探测装置,探测装置包括相机以及检测镜头,光束切换装置设于相机的接收光线的一侧;光束切换装置包括第一移动装置以及第一载台,第一移动装置与第一载台,第一移动装置用于驱动第一载台沿第一方向移动,第一方向与探测装置的检测方向相交,第一载台上设有至少一个第一安装孔,光束切换装置还包括至少一个滤光片,滤光片收容于第一安装孔内,第一方向与探测装置的检测方向相交。通过光束切换装置调整进入相机的光线,从而能够根据相机接收到不同波长或不同相位的光线,对待测件进行不同参数的检测,从而提高探测装置对待测件的检测效率。
技术领域
本申请涉及检测技术领域,尤其涉及一种光束切换装置、探测装置及检测设备。
背景技术
在对待测件进行光学检测时,主要是通过探测装置接收待测件反射或散射的光线,并形成检测图像后,针对检测图像对待测件进行检测或分析,而为了对待测件的不同参数进行检测,通常需要获取不同参数的光线并形成不同的检测图像。
现有技术中,为了方便对待测件进行检测,通常需要配备多个不同的光源,从而能够保证在待测件表面反射或散射形成不同参数的光线,这种方式极大的降低了对待测件的检测效率。
实用新型内容
本申请实施例提供一种光束切换装置、探测装置及检测设备。
第一方面,本申请实施例提供一种光束切换装置,应用于探测装置,所述探测装置包括相机,所述光束切换装置设于所述相机的接收光线的一侧;
所述光束切换装置包括第一移动装置以及第一载台,所述第一移动装置与所述第一载台,所述第一移动装置用于驱动所述第一载台沿第一方向移动,所述第一方向与所述探测装置的检测方向相交,所述第一载台上设有至少一个第一安装孔,所述光束切换装置还包括至少一个滤光片,所述滤光片收容于所述第一安装孔内。
可选的,所述第一方向与所述探测装置的检测方向相垂直。
可选的,所述第一载台上包括两个所述第一安装孔,每个所述第一安装孔均安装有一个滤光片,不同所述第一安装孔的滤光片的滤光范围不相同。
可选的,所述光束切换装置还包括第二移动装置以及第二载台,所述第二移动装置用于驱动所述第二载台沿第二方向移动,所述第二载台上设有第二安装孔,至少一个所述第二安装孔安装有偏振片或补偿片。
可选的,所述第二载台上设有两个所述第二安装孔,两个所述第二安装孔各安装有一个偏振片,不同所述第二安装孔的偏振片的偏振方向不相同。
可选的,所述第二载台上设有两个所述第二安装孔,一个所述第二安装孔安装有一个偏振片,另一个所述第二安装孔安装有一个补偿片。
可选的,所述光束切换装置还包括第三移动装置以及第三载台,所述第三移动装置用于驱动所述第一载台沿第三方向移动,所述第三载台上设有至少一个第三安装孔,至少一个所述第三安装孔中安装有偏振片或补偿片。
可选的,所述第二载台具有至少两个所述第二安装孔,所述第三载台具有至少两个所述第三安装孔,两个所述第二安装孔安装有第一偏振片以及第一补偿片,所述第三安装孔安装有第二偏振片以及第二补偿片;所述第一偏振片与所述第二偏振片的偏振方向不相同。
可选的,所述探测装置还包括检测镜头,所述光束切换装置设于所述检测镜头与所述相机之间,所述光束切换装置的两端分别与所述检测镜头以及所述相机连接。
第二方面,本申请实施例提供一种探测装置,所述探测装置包括检测镜头以及如上述任一项实施方式所述的光束切换装置,所述光束切换装置设于所述检测镜头与所述相机之间,所述光束切换装置的两端分别与所述检测镜头以及所述相机连接。
第三方面,本申请实施例提供一种检测设备,所述检测设备包括如上述任一项实施方式所述的光束切换装置。
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