[实用新型]一种研磨设备

权利要求书

1.一种研磨设备，包括壳体（1）、设置于所述壳体（1）内部的研磨装置（2）、设置于所述壳体（1）外侧的冷却结构，所述冷却结构包括环绕所述壳体（1）外侧设置的罩壳（3），所述罩壳（3）与所述壳体（1）之间形成容纳冷媒的腔体，其特征在于，冷却结构还包括位于所述腔体内并沿所述壳体的周向设置的若干隔板（4），所述若干隔板上下排布将所述腔体分隔成多个上下排布的冷媒通道（5），每个所述隔板（4）上具有使与之相邻两个冷媒通道（5）相连通的开口（6），上下相邻的两个开口错开设置，所述冷却结构还包括设置于对应最顶部的冷媒通道（5）的位置处的用于输入冷媒的进液口（7）、设置于对应最底部的冷媒通道（5）的位置处的用于输出冷媒的出液口（8）。

2.根据权利要求1所述的一种研磨设备，其特征在于，所述腔体内还竖直设置有竖挡板（9），上下相邻的两个所述开口（6）在水平面上的投影分别位于竖挡板（9）的左右两侧。

3.根据权利要求2所述的一种研磨设备，其特征在于，所述隔板（4）的两个端部之间的空隙形成所述开口（6），所述隔板（4）的一端部与所述竖挡板（9）连接。

4.根据权利要求1或2所述的一种研磨设备，其特征在于，之间间隔有一个开口（6）的两个开口（6）在水平面上的投影相重合。

5.根据权利要求2所述的一种研磨设备，其特征在于，所述进液口（7）和与之竖直距离最近的开口（6）分别位于所述竖挡板（9）的左右两侧；所述出液口（8）和与之竖直距离最近的开口（6）分别位于所述竖挡板（9）的左右两侧。

6.根据权利要求2所述的一种研磨设备，其特征在于，所述竖挡板（9）的内外两侧分别与所述壳体（1）的外壁和罩壳（3）的内壁连接，所述竖挡板（9）的上下两侧分别与所述最顶部的冷媒通道（5）的上壁和所述最底部的冷媒通道（5）的下壁连接。

7.根据权利要求1所述的一种研磨设备，其特征在于，所述冷媒通道（5）的数量至少有三个。

8.根据权利要求1所述的一种研磨设备，其特征在于，所述冷媒为水。