[实用新型]一种用于芯片测试用的悬臂探针卡

说明书

本实用新型公开了一种用于芯片测试用的悬臂探针卡，包括支撑板和基板，所述支撑板的底部安装有两组支撑卡槽，所述支撑卡槽的内侧嵌合安装有支撑卡件，所述支撑卡件的内侧安装有基板，所述基板的内侧贯穿安装有连接座，所述连接座的一侧安装有悬臂，所述悬臂的一端安装有探针，所述基板的底部安装有安装座。本实用新型通过在支撑卡槽和螺纹杆，使用者将基板通过支撑卡件嵌合安装在支撑卡槽的内侧，方便使用者对装置进行组装，避免基板在安装的过程中发生偏移的情况，在完成基板的安装后，使用者将螺纹杆贯穿基板的内侧，然后使得螺纹杆通过螺纹插入到内螺纹接口的内侧，方便使用者对装置进行组装，保证基板的稳定，避免基板发生晃动。

技术领域

本实用新型涉及芯片测试技术领域，具体为一种用于芯片测试用的悬臂探针卡。

背景技术

在多个半导体器件采用制造半导体器件的工艺形成在晶片上之后，可以对每个半导体器件进行电特性测试。电特性测试可以通过向形成在晶片上的半导体器件施加电信号以及读取对应于所施加的电信号的输出信号来进行。

现有技术中悬臂探针卡存在的缺陷是：

1、专利文件CN207458546U一种用于测试LCDdriver液晶驱动芯片的悬臂探针卡，“包括PCB基板、测试头，所述PCB基板由加强板、PCA板、固定螺栓构成，且所述加强板设置于所述PCA板顶部，所述固定螺栓贯穿连接加强板、PCA板，所述测试头由陶瓷基板、探针、环氧树脂块、固定胶构成，所述陶瓷基板通过固定胶连接在PCA板底部，且所述固定胶位于所述PCA板内侧，所述探针顶端固定连接PCA板底部，且所述探针顶端位于所述陶瓷基板外侧，所述环氧树脂块固定连接陶瓷基板底部，与现有技术相比，测试LCDdriver液晶驱动芯片的悬臂探针卡，把现有都以直线排列探针改为微错位排列探针，针尖相互距离从35微米缩小到20微米，减少制作成本测试成本，同时测试PAD间距减小、测试效率提高。”该装置内部缺少相互配合限位的安装结构，造成装置在使用的过程中容易出现松动。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于芯片测试用的悬臂探针卡，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于芯片测试用的悬臂探针卡，包括支撑板和基板，所述支撑板的底部安装有两组支撑卡槽，所述支撑卡槽的内侧嵌合安装有支撑卡件，所述支撑卡件的内侧安装有基板，所述基板的内侧贯穿安装有连接座，所述连接座的一侧安装有悬臂，所述悬臂的一端安装有探针，所述基板的底部安装有安装座，所述安装座的底部安装有限位座。

优选的，所述支撑板的顶部安装有伸缩杆，伸缩杆的顶端安装有安装板。

优选的，所述支撑板的底部安装有连接板，连接板与连接座的顶端连接。

优选的，所述基板的内侧贯穿安装有螺纹杆，螺纹杆的顶端通过螺纹安装在内螺纹接口的内侧。

优选的，所述限位座的内侧安装有橡胶垫，探针位于橡胶垫的内侧。

优选的，所述支撑板的底部开设有若干组内螺纹接口，内螺纹接口位于连接板与支撑卡槽之间。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过在支撑卡槽和螺纹杆，使用者将基板通过支撑卡件嵌合安装在支撑卡槽的内侧，方便使用者对装置进行组装，避免基板在安装的过程中发生偏移的情况，在完成基板的安装后，使用者将螺纹杆贯穿基板的内侧，然后使得螺纹杆通过螺纹插入到内螺纹接口的内侧，方便使用者对装置进行组装，保证基板的稳定，避免基板发生晃动。

2、本实用新型通过安装有橡胶垫，探针的底端与芯片接触，对芯片进行检测，在探针检测时会受到上方设备压力的压迫而弯曲，由橡胶垫减缓压力对探针的压力，避免探针由于压力的影响造成变形无法恢复的情况出现。

附图说明

图1为本实用新型主体结构示意图；