[实用新型]用于极低发射度同步辐射光源的插入装置及极低发射度同步辐射光源有效
| 申请号： | 202221039039.0 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN217160081U | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 黄春明 | 申请（专利权）人： | 深圳镭铌铒科技有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 成都方圆聿联专利代理事务所(普通合伙) 51241 | 代理人： | 李鹏 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 发射 同步 辐射 光源 插入 装置 | ||
【权利要求书】：
1.用于极低发射度同步辐射光源的插入装置，其特征在于：
所述插入装置的金属管体(1)具有横截面呈圆形的管腔(2)，所述金属管体(1)的管腔(2)内壁设置有吸气剂薄膜涂层(3)；所述管腔(2)的直径不大于10毫米。
2.根据权利要求1所述的插入装置，其特征在于：所述吸气剂薄膜涂层(3)的厚度为0.5～5微米。
3.根据权利要求1或2所述的插入装置，其特征在于：所述吸气剂薄膜涂层(3)为TiZrV涂层、ZrVFe涂层、Pd/Ti涂层中的一种。
4.根据权利要求3所述的插入装置，其特征在于：所述吸气剂薄膜涂层(3)通过真空溅射镀膜工艺设置在所述金属管体(1)的管腔(2)内壁。
5.根据权利要求3所述的插入装置，其特征在于：所述金属管体(1)为铜管或不锈钢管。
6.根据权利要求3所述的插入装置，其特征在于：所述金属管体(1)的外径不大于12毫米。
7.极低发射度同步辐射光源，其特征在于：所述极低发射度同步辐射光源包括权利要求1-6任一项所述的用于极低发射度同步辐射光源的插入装置。
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