[实用新型]一种靶材热处理装置

说明书

本实用新型公开了一种靶材热处理装置，包括加热箱，所述加热箱上端的两侧设有滑行板，每个所述滑行板上均设有滑槽，两侧所述滑槽相对设置，每个所述滑行板的两端还设有限位孔；所述加热箱的内壁设有一层气凝胶隔热棉，所述加热箱的内部设有多个加热机构，每两个所述加热机构之间形成一个靶材放置区；所述加热机构包括壳体，所述壳体内设有多个电加热棒，所述壳体内填充有铁砂；本实用新型结构简单，设计新颖，通过在加热机构内填充铁砂并对其进行加热，加热后铁砂作为热处理的媒介，能够快速且均匀的进行导热，从而使加热机构之间的靶材受热更加均匀且平稳，使热处理的后的微观晶粒更加均匀，有利于提高热处理的品质。

技术领域

本实用新型涉及热处理技术领域，具体为一种靶材热处理装置。

背景技术

热处理是金属靶材加工过程中不可或缺的工艺，主要通过施加不同的热处理温度、保温时间和加热方式，来实现材料的再结晶，使得金属靶材的组织均匀；但是现有的热处理装置导热性能差，导热不均匀，使得靶材升温和接收热量不够平稳，容易导致在靶材热处理后的晶粒不均匀，影响靶材的品质。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种靶材热处理装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种靶材热处理装置，包括加热箱，所述加热箱上端的两侧设有滑行板，每个所述滑行板上均设有滑槽，两侧所述滑槽相对设置，每个所述滑行板的两端还设有限位孔；

所述加热箱的内壁设有一层气凝胶隔热棉，所述加热箱的内部设有多个加热机构，每两个所述加热机构之间形成一个靶材放置区；

所述加热机构包括壳体，所述壳体内设有多个电加热棒，所述壳体内填充有铁砂。

优选的，两侧所述滑行板之间设有两个滑动门，每个所述滑动门的两侧侧壁均设有滑块，两侧所述滑块分别嵌于对应的滑槽内，每个所述滑动门的两侧端部均设有限位杆，两侧所述限位杆分别嵌于相对应的限位孔内，两个所述滑动门相互对应的一侧设有密封条，每个所述滑动门上还设有把手。

优选的，所述壳体采用氧化铝陶瓷板制成。

优选的，所述电加热棒通过导线连接着加热器，所述加热器设置在加热箱底部。

优选的，其中一个所述滑动门上设有温度计。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，通过在加热机构内填充铁砂并对其进行加热，加热后铁砂作为热处理的媒介，能够快速且均匀的进行导热，从而使加热机构之间的靶材受热更加均匀且平稳，使热处理的后的微观晶粒更加均匀，有利于提高热处理的品质；

本实用新型特设的壳体采用氧化铝陶瓷板制成，氧化铝陶瓷有较好的机械强度，还具有优越的传导性，能够进一步的加快热量传递；

本实用新型特设的气凝胶隔热棉能够防止加热箱内的热量挥发，起到保温作用。

附图说明

图1为本实用新型整体结构正视示意图；

图2为本实用新型加热箱内部结构示意图；

图3为本实用新型加热机构内部结构示意图；

图4为本实用新型整体结构俯视示意图；

图5为本实用新型滑行板剖视示意图；

图6为本实用新型滑动门结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。