[实用新型]一种靶材热处理装置

权利要求书

1.一种靶材热处理装置，包括加热箱，其特征在于：所述加热箱（1）上端的两侧设有滑行板（11），每个所述滑行板（11）上均设有滑槽（111），两侧所述滑槽（111）相对设置，每个所述滑行板（11）的两端还设有限位孔（112）；

所述加热箱（1）的内壁设有一层气凝胶隔热棉（13），所述加热箱（1）的内部设有多个加热机构（2），每两个所述加热机构（2）之间形成一个靶材放置区（3）；

所述加热机构（2）包括壳体（21），所述壳体（21）内设有多个电加热棒（22），所述壳体（21）内填充有铁砂（23）。

2.根据权利要求1所述的一种靶材热处理装置，其特征在于：两侧所述滑行板（11）之间设有两个滑动门（12），每个所述滑动门（12）的两侧侧壁均设有滑块（121），两侧所述滑块（121）分别嵌于对应的滑槽（111）内，每个所述滑动门（12）的两侧端部均设有限位杆（122），两侧所述限位杆（122）分别嵌于相对应的限位孔（112）内，两个所述滑动门（12）相互对应的一侧设有密封条（123），每个所述滑动门（12）上还设有把手（124）。

3.根据权利要求1所述的一种靶材热处理装置，其特征在于：所述壳体（21）采用氧化铝陶瓷板制成。

4.根据权利要求1所述的一种靶材热处理装置，其特征在于：所述电加热棒（22）通过导线连接着加热器（221），所述加热器（221）设置在加热箱（1）底部。

5.根据权利要求2所述的一种靶材热处理装置，其特征在于：其中一个所述滑动门（12）上设有温度计（14）。