[实用新型]一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置

说明书

本实用新型提供了一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置，包括第一吸附桶、第二吸附桶和应急吸附桶，第一吸附桶通过连接管连接第二吸附桶，第一吸附桶上连接第二输气管，应急吸附桶通过第一输气管连接在第二输气管上，应急吸附桶上连接排气管，第二吸附桶通过固定管连接在排气管上，排气管上设置风机。本实用新型结构简单合理，可以对两种气体进行吸收，避免超标排放，安全性强，实用价值高，可推广使用。

技术领域

本实用新型涉及一种尾气处理装置，具体涉及一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置。

背景技术

乙硼烷和磷烷均在半导体中有重要作用，其中乙硼烷主要用作硅材料的p型掺杂源，以及硅和锗的外延生长、钝化、扩散和离子注入；磷烷是重要N型掺杂源，同时磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、离子注入工艺、MOVCD工艺等工艺中。

乙硼烷和磷烷均为剧毒气体，需处理至无毒后排放。干式尾气处理装置用吸附桶完全处理尾气，没有明火，不需要用水资源和高温加热。专利CN109012020A介绍了砷烷磷烷尾气处理装置，采用报警系统连控的切换偶联系统保证主吸附桶饱和时自动切换至应急吸附桶，保证剧毒气体应急处理至TLV值以下，保障安全。

乙硼烷和磷烷均有干式吸附剂，磷烷的干式吸附剂对乙硼烷有一定的吸附能力，乙硼烷的干式吸附剂对磷烷没有吸附能力。

在某些场合中，乙硼烷和磷烷会同时使用。但是，乙硼烷和璘烷均采用电化学型的磷烷探测器，乙硼烷对磷烷探测器有响应，但较磷烷弱。在有毒气体泄漏的应急状态下，探测器与事故风机连锁，事故风机启动后将泄漏的有毒气体排入尾气处理装置，由于乙硼烷和磷烷探测器无法区分乙硼烷和磷烷，因此无论乙硼烷或磷烷泄漏，事故风机均会启动，将泄漏气体同时排入乙硼烷吸附装置和磷烷吸附装置。若磷烷泄漏，乙硼烷吸附装置无法吸附磷烷，可能导致磷烷超标排放；若乙硼烷泄漏，磷烷吸附装置对乙硼烷的吸附能力无法达到设计能力，也可能会导致乙硼烷排气超标，为此，需要设计一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置，该装置结构设计科学合理，吸附效果好，安全可靠，成本低廉。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置，其特征在于，包括第一吸附桶、第二吸附桶和应急吸附桶，所述应急吸附桶的两端分别连接排气管和第一输气管，所述第一吸附桶的两端分别连接第二输气管和连接管，所述第二吸附桶的两端分别连接所述连接管和固定管，所述第一输气管连接第二输气管，所述固定管连接排气管，所述排气管上设置有风机和气体探测器。

优选地，所述第一输气管上设置第一安全切断阀，所述第二输气管上设置第二安全切断阀，所述排气管上设置第三安全切断阀，所述固定管上设置第四安全切断阀，所述连接管上设置截止阀。

优选地，所述第一吸附桶和第二吸附桶的一侧均设有显色剂视窗，所述第一吸附桶、第二吸附桶和应急吸附桶内沿气体运动方向均依次设置乙硼烷吸附层和磷烷吸附层，乙硼烷吸附层内填充乙硼烷吸附试剂，磷烷吸附层内填充磷烷吸附试剂，通过显色剂视窗观察试剂变色情况。

优选地，所述第一吸附桶和第二吸附桶的侧壁上均设置有温度传感器。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点：

1、本实用新型结构简单，使用方便，成本低廉，吸附效果好，安全可靠。