[实用新型]一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置有效
| 申请号： | 202220934510.6 | 申请日： | 2022-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN217068269U | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 闫云;张净普;李旭;王星帅;王坤;殷越玲;姜世楠 | 申请（专利权）人： | 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02 |
| 代理公司： | 西安汇恩知识产权代理事务所(普通合伙) 61244 | 代理人： | 张伟花 |
| 地址： | 057550 河北省邯*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 吸附 乙硼烷 尾气 处理 装置 | ||
1.一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置，其特征在于，包括第一吸附桶(7)、第二吸附桶(16)和应急吸附桶(1)，所述应急吸附桶(1)的两端分别连接排气管(8)和第一输气管(4)，所述第一吸附桶(7)的两端分别连接第二输气管(5)和连接管(11)，所述第二吸附桶(16)的两端分别连接所述连接管(11)和固定管(14)，所述第一输气管(4)连接第二输气管(5)，所述固定管(14)连接排气管(8)，所述排气管(8)上设置有风机(15)和气体探测器(12)。
2.根据权利要求1所述的一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置，其特征在于，所述第一输气管(4)上设置第一安全切断阀(2)，所述第二输气管(5)上设置第二安全切断阀(3)，所述排气管(8)上设置第三安全切断阀(9)，所述固定管(14)上设置第四安全切断阀(13)，所述连接管(11)上设置截止阀(10)。
3.根据权利要求1所述的一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置，其特征在于，所述第一吸附桶(7)和第二吸附桶(16)的一侧均设有显色剂视窗(17)，所述第一吸附桶(7)、第二吸附桶(16)和应急吸附桶(1)内沿气体运动方向均依次设置乙硼烷吸附层和磷烷吸附层。
4.根据权利要求1所述的一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置，其特征在于，所述第一吸附桶(7)和第二吸附桶(16)的侧壁上均设置有温度传感器(6)。
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