[实用新型]定位工装及光纤固定夹安装结构

说明书

本实用新型提供一种定位工装及光纤固定夹安装结构，涉及半导体技术领域。该定位工装用于对光栅测量系统中光纤固定夹的安装进行定位，包括定位基座，定位基座设有连接定位机构，连接定位机构用于与光栅测量系统的工作台可拆卸式连接，以使定位基座定位于工作台的侧部；定位基座设有导向方向朝向工作台侧部的导向定位机构，导向定位机构用于对相应的光纤固定夹进行导向。该定位工装能够确保光纤固定夹的安装位置精度，从而保证光纤固定夹对读数头尾纤的安全导出。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种定位工装及光纤固定夹安装结构。

背景技术

光栅测量系统的布局中，其工作台的侧部通过读数头固定座安装有读数头，读数头的尾纤需要通过工作台侧部的光纤固定夹固定并引入光纤整理盘内，因此光纤固定夹安装于工作台侧部的位置精度直接决定读数头尾纤是否能够安全导出。

然而现有的光纤固定夹安装于工作台侧部的位置精度较差，无法保证读数头尾纤的安全导出。

实用新型内容

本实用新型的目的包括提供一种定位工装及光纤固定夹安装结构，以解决现有的光纤固定夹安装于工作台侧部的位置精度较差，无法保证读数头尾纤安全导出的技术问题。

为解决上述问题，本实用新型提供一种定位工装，用于对光栅测量系统中光纤固定夹的安装进行定位，包括定位基座，所述定位基座设有连接定位机构，所述连接定位机构用于与所述光栅测量系统的工作台可拆卸式连接，以使所述定位基座定位于所述工作台的侧部；所述定位基座设有导向方向朝向所述工作台侧部的导向定位机构，所述导向定位机构用于对相应的光纤固定夹进行导向。

可选地，所述定位基座包括第一座体，所述第一座体与所述工作台设置读数头固定座的侧边相对应；所述连接定位机构包括设于所述第一座体底面的定位槽，所述定位槽与所述读数头固定座相匹配。

可选地，所述定位基座包括第二座体，所述第二座体与所述工作台设置水平电机的侧边相对应；所述连接定位机构包括设于所述第二座体的连接部，所述连接部用于与所述水平电机外侧壁的安装位对应连接；和/或，所述连接部用于与所述工作台相应于所述水平电机的安装位对应连接。

可选地，所述第二座体包括座体本体和连接体，所述连接体与所述座体本体可拆卸式连接，所述导向定位机构设于所述座体本体，所述连接部设于所述连接体。

可选地，所述连接部包括至少两个第一连接孔，所述安装位包括至少两个设于所述水平电机外侧壁的第二连接孔，所述第二连接孔与所述第一连接孔一一对应，相应的所述第一连接孔和所述第二连接孔能够通过螺纹连接件连接。

可选地，所述连接部包括插接头，所述工作台用于安装所述水平电机的安装槽作为所述安装位，所述插接头与所述安装槽相匹配。

可选地，所述连接部还包括第一销孔，所述安装位包括第二销孔，所述第二销孔与所述第一销孔相对应，且所述第二销孔与所述第一销孔能够通过连接销连接；

和/或，所述连接部还包括设于所述第二座体内侧壁的第一键槽，所述安装位包括第二键槽，所述第二键槽与所述第一键槽相对应，且所述第二键槽与所述第一键槽能够通过连接键连接。

可选地，所述导向定位机构包括导向孔，所述定位基座包括第一座体和第二座体，所述第一座体与所述工作台设置读数头固定座的侧边相对应，所述第二座体与所述工作台设置水平电机的侧边相对应，且所述第一座体和所述第二座体相邻的端部各设一个贯通槽；所述第一座体和所述第二座体通过所述连接定位机构与相应的侧边连接定位时，相邻的两个所述贯通槽的槽口相向设置且拼接形成所述导向孔。

可选地，所述定位基座自上向下包括第一基座部和第二基座部，所述第二基座部相对所述第一基座部外凸形成承接台，所述导向定位机构包括导向孔，所述导向孔的部分或全部孔体位于所述第一基座部。