[实用新型]一种旋转吸附装置

说明书

本实用新型属于先进制造技术领域，特别是涉及一种旋转吸附装置。旋转吸附装置中，包括基座，所述基座设置有安装槽和第一连通孔；还包括旋转吸附组件，所述旋转吸附组件上设有吸附孔组，且所述旋转吸附组件安装于所述安装槽中，所述第一连通孔连通所述吸附孔组，所述旋转吸附组件可相对于所述基座沿第一方向旋转；还包括密封组件，所述第一连通孔和吸附孔组通过所述密封组件在第二方向上密封，所述第一方向垂直于所述第二方向。本实用新型中，所述旋转吸附组件旋转吸附装置可实现高速旋转的同时，吸附待加工件，从而可以实现待加工件的高速高精度运动。

技术领域

本实用新型属于先进制造技术领域，特别是涉及一种旋转吸附装置。

背景技术

对于玻璃、陶瓷、半导体晶圆等被加工件硬脆材料，以及各种薄盘形工件的加工，为了保证被加工件等不被损坏，通常是将其固定在设有吸附孔的旋转吸附组件上。真空的吸附孔可以将被加工件吸附在旋转吸附组件上，被加工件加工完毕之后，吸附孔恢复常压状态，从而可以从吸附孔上取下被加工件。设有吸附孔的旋转吸附组件，无需任何夹具即可将被加工件固定在旋转吸附组件上，从而避免了被加工件装夹过程中发生损坏的事故。

现有技术中的旋转吸附组件大多无法旋转，即使有可旋转的旋转吸附组件，其结构均极其复杂，尤其是其中的气路部分，从而导致旋转吸附组件加工困难，制造成本高；另外，现有的旋转吸附组件均采用O型密封圈来密封，旋转吸附组件在高速旋转时，摩擦阻力巨大，导致驱动电机过载、O型密封圈的使用寿命大大缩短、需经常拆卸等缺陷，故在实际工程应用中，现有旋转吸附组件装置基本无法实现高速旋转的功能；此外，部分现有的旋转吸附组件装置需要气源与吸盘随动，从而导致旋转吸附组件的吸附力很小，无法满足加工要求。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中旋转吸附组件气源与吸盘随动，无法高速旋转且精度低的技术问题，提供了一种可实现高速高精度运动的旋转吸附装置。

鉴于以上技术问题，本实用新型实施例提供一种旋转吸附装置，包括

基座，所述基座设置有安装槽和第一连通孔；

旋转吸附组件，所述旋转吸附组件上设有吸附孔组，且所述旋转吸附组件安装于所述安装槽中，所述第一连通孔连通所述吸附孔组，所述旋转吸附组件可相对于所述基座沿第一方向旋转；

密封组件，所述第一连通孔和所述吸附孔组的连通处通过所述密封组件在第二方向上密封，所述第一方向垂直于所述第二方向。

可选地，所述吸附孔组包括环形槽和吸附孔，所述环形槽的一端连通所述吸附孔，所述环形槽的另一端连通所述第一连通孔，所述密封组件用于密封所述第一连通孔与所述环形槽的连通处。

可选地，所述密封组件包括第一密封件和第二密封件，所述环形槽设置于所述第一密封件和所述第二密封件之间。

可选地，所述第一密封件和所述第二密封件均为骨架油封。

可选地，所述旋转吸附装置还包括轴承，所述轴承设置于所述安装槽和所述旋转吸附组件之间。

可选地，所述旋转吸附组件的环形台阶面抵接于所述轴承，所述环形台阶面的外径尺寸大于所述轴承内圈外径，且所述环形台阶面的外径尺寸小于所述轴承外圈内径。

可选地，所述旋转吸附装置还包括驱动件，所述驱动件的输出端连接所述旋转吸附组件以驱动所述旋转吸附组件相对于所述基座旋转。

可选地，所述旋转吸附组件包括吸盘和连接所述吸盘的底盘所述底盘和所述吸盘之间形成所述环形槽。

可选地，所述吸附孔组还包括第二连通孔和第三连通孔，所述第二连通孔的一端连通所述环形槽，所述第二连通孔的另一端连通所述第三连通孔，所述吸附孔连通所述第三连通孔，所述第一连通孔的一端连通所述环形槽远离所述第二连通孔的一端，所述第一连通孔的另一端连通外部真空装置。