[实用新型]一种可去除厚片的脱胶装置

权利要求书

1.一种可去除厚片的脱胶装置，其特征在于，包括：

晶托回收线；

用于抓取晶托组件的输送机械手机构；所述晶托组件的底部留有厚片；

用于识别厚片的图像采集组件，设置于所述晶托回收线的旁侧；

用于夹持厚片、将厚片与晶托组件分离并将厚片放于晶托回收线的除厚片机械手机构，设置于所述晶托回收线的旁侧。

2.根据权利要求1所述的脱胶装置，其特征在于，所述除厚片机械手机构包括：

除厚片机械手底座；

除厚片机械臂，转动设置于所述除厚片机械手底座上；所述除厚片机械臂具有至少2个自由度；

用于夹持厚片的厚片夹爪组件，设置于所述除厚片机械臂的工作端。

3.根据权利要求2所述的脱胶装置，其特征在于，所述厚片夹爪组件包括：

夹爪支架，转动设置于所述除厚片机械臂的工作端；所述夹爪支架内设置有容纳空腔；

夹爪，设置于所述容纳空腔内；

用于驱动夹爪执行夹持动作的夹爪驱动器，设置于所述夹爪支架上。

4.根据权利要求3所述的脱胶装置，其特征在于，所述夹爪包括：两个平行且相对设置的夹板；所述夹爪驱动器分别与两个夹板相连，用于驱动两个夹板相互靠近产生夹持动作。

5.根据权利要求4所述的脱胶装置，其特征在于，所述厚片夹爪组件还包括：

夹爪伸缩驱动器，设置于所述容纳空腔内，与夹爪相连，用于驱动夹爪伸出所述容纳空腔以执行夹持动作。

6.根据权利要求3所述的脱胶装置，其特征在于，所述图像采集组件设置于夹爪支架的外表面。

7.根据权利要求3所述的脱胶装置，其特征在于，还包括：

光源，设置于夹爪支架上；所述光源的光出射方向朝向晶托组件。

8.根据权利要求1所述的脱胶装置，其特征在于，所述输送机械手机构包括：

沿晶托回收线方向延伸的纵向导轨、垂直于晶托回收线方向的横向导轨、沿竖向方向延伸的竖向导轨；

用于夹持晶托组件的夹爪组件；

用于驱动夹爪组件沿竖向导轨移动的竖向驱动器；

用于驱动夹爪组件沿横向导轨移动的横向驱动器；

用于驱动夹爪组件沿纵向导轨移动的纵向驱动器。

9.根据权利要求8所述的脱胶装置，其特征在于，所述夹爪组件包括：

工装顶板，与所述竖向驱动器相连；

用于夹持晶托组件的晶托夹爪，设置于所述工装顶板的底面。

10.根据权利要求9所述的脱胶装置，其特征在于，所述工装夹爪组件还包括：

用于驱动所述晶托夹爪沿横向方向伸长以夹持晶托组件的夹爪驱动器。