[实用新型]离子束刻蚀设备

权利要求书

1.一种离子束刻蚀设备，其特征在于，所述离子束刻蚀设备包括离子源和提供吹扫气体的吹扫管路；所述离子源包括壳体，所述壳体内具有贯穿所述壳体的气体通道，所述吹扫管路与所述气体通道的进气口连接；其中，所述吹扫管路上设置有加热器。

2.如权利要求1所述的离子束刻蚀设备，其特征在于，所述壳体包括上部和下部，所述上部的底面贴附于所述下部的顶面，所述壳体的气体通道贯穿所述上部和所述下部；所述壳体的外周套设有密封圈，所述密封圈密封所述上部和所述下部的连接间隙。

3.如权利要求1所述的离子束刻蚀设备，其特征在于，所述离子束刻蚀设备包括气体存储槽，所述气体存储槽的进气口与所述加热器输出侧的吹扫管路连接，所述气体存储槽的出气口与所述气体通道的进气口连接。

4.如权利要求3所述的离子束刻蚀设备，其特征在于，所述气体存储槽和所述气体通道的进气口之间的吹扫管路上设置有调节阀和气压测量仪。

5.如权利要求1所述的离子束刻蚀设备，其特征在于，所述加热器为柔性加热带，所述柔性加热带贴附在所述吹扫管路的外壁上。

6.如权利要求1所述的离子束刻蚀设备，其特征在于，所述离子束刻蚀设备包括保温带，所述保温带覆盖所述吹扫管路的外壁。

7.如权利要求1所述的离子束刻蚀设备，其特征在于，所述加热器和所述壳体之间的吹扫管路上设置有开关阀门。