[实用新型]微孔复合材料陶瓷真空吸盘

说明书

本实用新型公开了一种微孔复合材料陶瓷真空吸盘，其特征在于，包括框架板和镶嵌板和镶块，所述镶嵌板上表面设有若干镶槽，镶嵌板在镶槽下方设有吸气槽，镶嵌板的侧壁或底面设有与吸气槽相通的吸气孔，所述镶块为微孔复合陶瓷镶块，具有光滑的上表面；镶块镶嵌在镶槽内，镶块表面高于镶嵌板上表面，镶槽侧壁顶端与镶块周边密封连接；所述镶嵌板位于框架上方，镶嵌板通过限位件和弹性件与框架板弹性连接，相对框架板作上下小幅活动。本实用新型吸附效果好，能有效保护了被吸附物在吸附和搬运等过程中的安全。

技术领域

本实用新型属于真空吸盘技术领域，尤其涉及一种微孔复合材料陶瓷真空吸盘。

背景技术

多孔真空吸盘作为一种通过抽真空形成负压来吸附工件的承载平台，被广泛应用于半导体、磁性材料以及光电等行业的工件研磨、抛光、清洗、搬运等工序。现有的多孔真空吸盘都是利用铝板和不锈钢板上的槽或孔来吸附被吸附物或待加工物品，但是这种方法会导致被吸附物凹下到槽孔里，失去吸附精度。此外，现有技术的多孔真空吸盘都是刚性连接结构，在吸附物品时不能有效地保护被吸附物，容易造成被吸附物的损坏。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种微孔复合材料陶瓷真空吸盘，用以解决现有的多孔真空吸盘在吸取被吸附物后容易在吸盘表面的槽孔处形成凹陷，吸附精度低，且不能有效保护被吸附物。

为了达到上述技术效果，本实用新型采用的技术方案是：

一种微孔复合材料陶瓷真空吸盘，其特征在于，包括框架板和镶嵌板和镶块，所述镶嵌板上表面设有若干镶槽，镶嵌板在镶槽下方设有吸气槽，镶嵌板的侧壁或底面设有与吸气槽相通的吸气孔，所述镶块为微孔复合材料陶瓷镶块，具有光滑的上表面；镶块镶嵌在镶槽内，镶块表面高于镶嵌板上表面，镶槽侧壁顶端与镶块周边密封连接；所述镶嵌板位于框架板上方，并与框架板中心对齐，镶嵌板通过限位件和弹性件与框架板弹性连接，相对框架板作上下小幅活动。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型镶块通过采用微孔复合材料陶瓷，取材和加工方便，能够有效防止被吸附物表面出现划痕，且无论被吸附物是磁性还是非磁性，都可以稳定吸住，吸附面吸力均一，可以用来固定很薄的加工物，像薄膜一类。通过吸气孔连接真空阀可以调节吸附力的大小，在湿度大，有粘合液体的环境下也可以工作。另外，镶嵌板通过限位件和弹性件与框架板活动连接，相对框架板作上下小幅活动，从而在吸附被吸附物品时或搬运被吸附物过程中能够起到缓冲功能，有效保护被吸附物的安全。

进一步地，所述框架板为十字型结构或X型结构，所述限位件和弹性件均设有四组，对应分布在框架板的四个角部。四组这样的机构增加了吸附物品时的稳定性。

进一步地，所述镶嵌板为正方形结构，所述框架板为十字型结构，并沿镶嵌板对角线方向设置。

进一步地，所述框架板下表面中部设有限位槽，所述限位槽内设有若干穿孔。限位槽及穿孔用于与外部产品(旋转器等)限定位和固定，被吸附物可以随着旋转器一起旋转，安装和使用方便。

进一步地，所述镶嵌板中部设有安装孔，所述安装孔的尺寸大于限位槽尺寸。在机械手抓取本微孔复合材料陶瓷真空吸盘与外部产品固定时，安装孔尺寸设计为实现自动化安装提供可靠性和便捷性。

进一步地，所述安装孔的四周均设有镶槽，若干镶嵌板下方的吸气槽不连通，每一吸气槽均对应设有吸气孔，用于和外部吸气装置的吸嘴连接。在同一镶嵌板表面镶嵌多个镶块，且具有相互独立的吸气孔和吸气槽，只要根据被加工物的形状和尺寸，来选择相对应的镶块区域和吸气孔，从而可以同时固定多种形状的被吸附物。

进一步地，所述微孔复合陶瓷镶块内的气孔均匀分布，孔径为1～100μ m，孔隙度为40％。通过1～100μm的微小气孔把空气吸出，使得加工物在陶瓷面真正实现真空吸附固定，不会让被吸附物在吸盘表面的吸附孔处形成凹陷，吸附精度高。