[实用新型]一种用于电子气二氟甲烷中杂质检测的分析装置

说明书

本实用新型公开了一种用于电子气二氟甲烷中杂质检测的分析装置，包括第一载气管、第二载气管、第三载气管、第四载气管、第五载气管、第六载气管、第一切换阀、第二切换阀、第三切换阀、第四切换阀、第五切换阀、第一定量环、第二定量环、第三定量环、第一色谱柱、第二色谱柱、第三色谱柱、第四色谱柱、第五色谱柱、第六色谱柱、第一针阀、第二针阀、第三针阀、第四针阀、第一氦离子化检测器和第二氦离子化检测器。本实用新型实现一次同时进样后，通过阀切换可选择性的将所需杂质分别放入两个氦离子化检测器，避免了主组分干扰，实现目标峰完全分离，增加了定量准确性。满足电子气二氟甲烷中痕量杂质检测。

技术领域

本实用新型涉及分析装置，尤其涉及一种用于电子气二氟甲烷中杂质检测的分析装置。

背景技术

二氟甲烷是一种零臭氧损耗潜势的冷却剂，是新冷却系统中氟氯烃替代物，被广泛应用于制冷行业。同时二氟甲烷也用于半导体及电子产品的制程中，在射频等离子体处理过程中可作为蚀刻CF自由基的来源，作蚀刻剂用。而二氟甲烷的纯度将直接影响电子元件的成品率和精确性。如此对二氟甲烷的杂质检测技术提出更高的要求。然而，现有对二氟甲烷杂质检测的方法以热导检测器和氢火焰离子化检测器为主，该两种检测器灵敏度难以满足痕量分析要求，同时存在二氟甲烷主组分覆盖相邻杂质峰，导致定量结果不准确的问题。因此，研发一种用于电子气二氟甲烷中杂质检测的分析装置，成为本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型是为了解决上述不足，提供了一种用于电子气二氟甲烷中杂质检测的分析装置。

本实用新型的上述目的通过以下的技术方案来实现：一种用于电子气二氟甲烷中杂质检测的分析装置包括第一载气管、第二载气管、第三载气管、第四载气管、第五载气管、第六载气管、第一切换阀、第二切换阀、第三切换阀、第四切换阀、第五切换阀、第一定量环、第二定量环、第三定量环、第一色谱柱、第二色谱柱、第三色谱柱、第四色谱柱、第五色谱柱、第六色谱柱、第一针阀、第二针阀、第三针阀、第四针阀、第一氦离子化检测器和第二氦离子化检测器；

所述第一切换阀一号端口为第一载气管的接入端，第一切换阀二号端口与第一定量环入口连接，第一切换阀三号端口为样品进口，第一切换阀四号端口与第二切换阀三号端口连接，第一切换阀五号端口与第一定量环出口连接，第一切换阀六号端口与第一色谱柱出口连接，第一切换阀七号端口与第一针阀连接，第一切换阀八号端口为第二载气管的接入端，第一切换阀九号端口与第二色谱柱进口连接，第一切换阀十号端口与第一色谱柱进口连接。

所述第二切换阀一号端口为第三载气管的接入端，第二切换阀二号端口与第二定量环入口连接，第二切换阀四号端口与第三切换阀六号端口连接，第二切换阀五号端口与第二定量环出口连接，第二切换阀六号端口与第三色谱柱出口连接，第二切换阀七号端口与第三针阀连接，第二切换阀八号端口为第四载气管的接入端，第二切换阀九号端口与第四色谱柱进口连接，第二切换阀十号端口与第三色谱柱进口连接。

所述第三切换阀一号端口与第三定量环入口连接，第三切换阀二号端口为第五载气管的接入端，第三切换阀三号端口与第五色谱柱进口连接，第三切换阀四号端口与第三定量环出口连接，第三切换阀五号端口为样品出口。

所述第四切换阀一号端口与第二色谱柱出口连接，第四切换阀二号端口与第二针阀连接，第四切换阀三号端口与第四切换阀四号端口连接，第四切换阀五号端口与第四色谱柱出口连接，第四切换阀六号端口与第一氦离子化检测器连接。所述第五切换阀一号端口与第五色谱柱出口连接，第五切换阀二号端口与第四针阀连接，第五切换阀三号端口与第五切换阀四号端口连接，第五切换阀六号端口与第六色谱柱进口连接。所述第二氦离子化检测器与第六色谱柱出口连接。

进一步地，所述第一切换阀、第二切换阀为十通阀，所述第三切换阀、第四切换阀、第五切换阀为六通阀。