[实用新型]一种用于电子气二氟甲烷中杂质检测的分析装置

权利要求书

1.一种用于电子气二氟甲烷中杂质检测的分析装置，其特征在于：包括第一载气管、第二载气管、第三载气管、第四载气管、第五载气管、第六载气管、第一切换阀、第二切换阀、第三切换阀、第四切换阀、第五切换阀、第一定量环、第二定量环、第三定量环、第一色谱柱、第二色谱柱、第三色谱柱、第四色谱柱、第五色谱柱、第六色谱柱、第一针阀、第二针阀、第三针阀、第四针阀、第一氦离子化检测器和第二氦离子化检测器；

所述第一切换阀一号端口为第一载气管的接入端，第一切换阀二号端口与第一定量环入口连接，第一切换阀三号端口为样品进口，第一切换阀四号端口与第二切换阀三号端口连接，第一切换阀五号端口与第一定量环出口连接，第一切换阀六号端口与第一色谱柱出口连接，第一切换阀七号端口与第一针阀连接，第一切换阀八号端口为第二载气管的接入端，第一切换阀九号端口与第二色谱柱进口连接，第一切换阀十号端口与第一色谱柱进口连接；

所述第二切换阀一号端口为第三载气管的接入端，第二切换阀二号端口与第二定量环入口连接，第二切换阀四号端口与第三切换阀六号端口连接，第二切换阀五号端口与第二定量环出口连接，第二切换阀六号端口与第三色谱柱出口连接，第二切换阀七号端口与第三针阀连接，第二切换阀八号端口为第四载气管的接入端，第二切换阀九号端口与第四色谱柱进口连接，第二切换阀十号端口与第三色谱柱进口连接；

所述第三切换阀一号端口与第三定量环入口连接，第三切换阀二号端口为第五载气管的接入端，第三切换阀三号端口与第五色谱柱进口连接，第三切换阀四号端口与第三定量环出口连接，第三切换阀五号端口为样品出口；

所述第四切换阀一号端口与第二色谱柱出口连接，第四切换阀二号端口与第二针阀连接，第四切换阀三号端口与第四切换阀四号端口连接，第四切换阀五号端口与第四色谱柱出口连接，第四切换阀六号端口与第一氦离子化检测器连接；所述第五切换阀一号端口与第五色谱柱出口连接，第五切换阀二号端口与第四针阀连接，第五切换阀三号端口与第五切换阀四号端口连接，第五切换阀六号端口与第六色谱柱进口连接；所述第二氦离子化检测器与第六色谱柱出口连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于电子气二氟甲烷中杂质检测的分析装置，其特征在于：所述第一切换阀、第二切换阀为十通阀，所述第三切换阀、第四切换阀、第五切换阀为六通阀。

3.根据权利要求1所述的一种用于电子气二氟甲烷中杂质检测的分析装置，其特征在于：所述第一色谱柱为外径1/8英寸、长度0.6m的TDX-01不锈钢填充柱，所述第二色谱柱为外径1/8英寸、长度2m的5A分子筛不锈钢填充柱，所述第三色谱柱和第四色谱柱为外径1/8英寸、长度2m的Porapak-Q不锈钢填充柱，第五色谱柱和第六色谱柱为内径0.32mm、长度30m的GasPro熔融石英毛细管柱。

4.根据权利要求1所述的一种用于电子气二氟甲烷中杂质检测的分析装置，其特征在于：所述第一载气管、第二载气管、第三载气管、第四载气管、第五载气管、第六载气管中的载气为氦气。