[实用新型]一种具有限位结构的氧化膜厚度测量装置

权利要求书

1.一种具有限位结构的氧化膜厚度测量装置，其特征在于：包括支架(1)，所述支架(1)的底端安装有封片(2)，所述支架(1)的外部设有滑杆(3)，所述滑杆(3)的中心位置设有安装槽(4)，所述安装槽(4)的外部螺纹连接有螺栓(5)，所述安装槽(4)的内侧通过螺栓(5)安装有测量探头(6)，所述支架(1)与滑杆(3)之间设有限位结构(7)，所述支架(1)的后部设有安装结构(11)。

2.根据权利要求1所述的一种具有限位结构的氧化膜厚度测量装置，其特征在于：所述限位结构(7)包括有压柄(8)、滑槽(9)和弹簧(10)，所述压柄(8)贯穿在支架(1)的顶端，所述滑槽(9)开设在支架(1)的内部，所述弹簧(10)连接在封片(2)的上部位于滑槽(9)的内侧。

3.根据权利要求2所述的一种具有限位结构的氧化膜厚度测量装置，其特征在于：所述滑杆(3)与滑槽(9)滑动连接，所述压柄(8)的底端与滑杆(3)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种具有限位结构的氧化膜厚度测量装置，其特征在于：所述安装结构(11)包括有安装座(12)、T形槽(13)、丝杆(14)、夹座(15)和挡块(16)，所述安装座(12)固定安装在支架(1)的后部，所述T形槽(13)开设在安装座(12)的后表面，所述丝杆(14)贯穿在T形槽(13)的内部，所述夹座(15)与T形槽(13)滑动连接，所述挡块(16)安装在夹座(15)的底部。

5.根据权利要求4所述的一种具有限位结构的氧化膜厚度测量装置，其特征在于：所述夹座(15)与T形槽(13)之间设有T形块，所述丝杆(14)与T形块螺纹连接。

6.根据权利要求4所述的一种具有限位结构的氧化膜厚度测量装置，其特征在于：所述夹座(15)呈中空式结构，且夹座(15)设有两个，两个夹座(15)对称设置。