[实用新型]一种天车轨道中用于安装高压电频线的支撑装置

说明书

本实用新型提供了一种天车轨道中用于安装高压电频线的支撑装置，属于半导体生产智造技术领域，本支撑装置包括固定在天车轨道上的支撑架，所述支撑架的外部与天车轨道之间设置有可拆卸结构一；所述的支撑架呈“匚”字形且支撑架的内部固定有二维码固定板，所述的二维码固定板上等距开设有若干安装浅槽，所述的安装浅槽中粘贴有二维码定位条，所述支撑架的内部与二维码固定板之间设置有可拆卸结构二；所述支撑架的端部均具有开口朝向上的安装槽，所述的安装槽能够用于安装高压电频线。本实用新型通过设置两个快速安装扣，可以快速的将支撑架固定到天车轨道上；通过设置两个定位条卡扣，可以快速的将二维码固定板固定到支撑架上。

技术领域

本实用新型属于半导体生产智造技术领域，涉及一种支撑装置，特别是一种天车轨道中用于安装高压电频线的支撑装置。

背景技术

在半导体领域内，晶圆厂普遍使用自动物料传输系统(AMHS) 来提高工厂的自动化程度，更加智能地去管理工厂内物料的运输与工艺流程管理。无线供电IPT是自动物料传输系统中的重要子系统，主要负责自动物料传输系统中天车的非接触式供电，利兹线(高压电频线)是子系统中重要的连接线，具有大电流、高压和高频的特性。而支撑利兹线的稳固装置则是重要的供电辅助装置。

由于自动物料传输系统通常会有数公里长的轨道，所以安装调试的方便性显的尤为重要。目前的利兹线安装时操作方式繁琐，效率较低；并且不方便调整，安装后对部分位置可能与其它结构干涉需要进行调整较为困难等问题。

而自动物料传输系统在天车运行过程中的定位，是依靠二维码定位条精准定位的，一般是将二维码定位条直接粘贴在轨道内侧。一段时间后二维码定位条的弯角等部分位置会存在粘贴不牢固后翘起脱落的现象，影响自动物料传输系统的运行可靠性。另外，人工粘贴二维码定位条存在上下偏移量，虽然摄像头有一定识别范围，但是仍然存在不美观和可靠性等问题。

所以，对于本领域内的技术人员，还有待对现有技术中利兹线的支撑装置进行改进，不仅可以有效固定自动物料传输系统中的利兹线，使得运输晶圆的天车进行有效可靠的非接触式取电，还可以固定天车精准定位用的二维码定位条。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种天车轨道中用于安装高压电频线的支撑装置，本实用新型的所要解决的技术问题是如何实现高压电频线的便捷安装和二维码定位条的便捷粘贴。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种天车轨道中用于安装高压电频线的支撑装置，所述的天车轨道设置有两个且两个天车轨道对称设置，所述的天车轨道呈L型，本支撑装置设置在两个天车轨道之间，包括固定在天车轨道上的支撑架，所述支撑架的外部与天车轨道之间设置有可拆卸结构一；所述的支撑架呈“匚”字形，所述支撑架的内部固定有二维码固定板，所述的二维码固定板上等距开设有若干安装浅槽，所述的安装浅槽中固定有二维码定位条，所述支撑架的内部与二维码固定板之间设置有可拆卸结构二；所述支撑架的端部均具有开口朝向上的安装槽，所述的安装槽能够用于安装高压电频线。

本天车轨道中用于安装高压电频线的支撑装置，通过可拆卸结构一可将支撑架快速安装到天车轨道上，同时利于拆卸，实现支撑架与天车轨道的快速、稳定固定；然后，将高压电频线安装到支撑架的安装槽内，实现高压电频线的快速安装；最后，通过可拆卸结构二可以快速的将二维码固定板固定到支撑架上，实现支撑架与二维码固定板的快速、稳定固定，并且将二维码定位条粘贴到二维码固定板的安装浅槽中，可使二维码定位条的安装非常便捷可靠，在提高准确度的同时也增加了美观性。

作为优选，所述的可拆卸结构一包括两个开设在支撑架外侧的快速安装扣，两个所述快速安装扣开设在支撑架外部的上下两侧，且两个快速安装扣相向设置，所述天车轨道的内侧固定有与所述快速安装扣相匹配的固定条，两个所述快速安装扣能够匹配安装入所述固定条中。