[实用新型]一种用于IC测试的便捷式按压止转吸杆有效
申请号: | 202220491992.2 | 申请日: | 2022-03-09 |
公开(公告)号: | CN217468339U | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 蒋黄俊;张少军 | 申请(专利权)人: | 深圳市卓精微智能机器人设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/683 |
代理公司: | 深圳市徽正知识产权代理有限公司 44405 | 代理人: | 汪栋 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区西乡*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 ic 测试 便捷 按压 止转吸杆 | ||
本实用新型涉及芯片加工装置技术领域,具体指一种用于IC测试的便捷式按压止转吸杆;包括套筒吸杆和活动吸杆,所述活动吸杆的后端可活动地穿设于套筒吸杆的前端口内,活动吸杆与套筒吸杆之间设有弹簧,所述活动吸杆与套筒吸杆之间设有锁止装置;本实用新型结构合理,所述活动吸杆通过锁定螺栓安装在套筒吸杆上,锁定螺栓与导向槽配合控制了活动吸杆的行程范围,且可防止活动吸杆在套筒吸杆上自转,可根据按压测试所需压力进行弹簧更换,拆装方便、使用灵活。成本较低。
技术领域
本实用新型涉及芯片加工装置技术领域,具体指一种用于IC测试的便捷式按压止转吸杆。
背景技术
IC芯片的烧录、封装加工流程中,需要进行通电、按压等多个测试环节,对产品的参数进行检测以提高产品的合格率。在目前的IC芯片加工流水线中,芯片的抓取方式主要采用真空吸附装置,即机械臂通过吸嘴的真空吸嘴吸取芯片。这种真空吸嘴与机械臂之间设有弹性元件以起到缓冲作用,这就导致机械臂与芯片之间产生的按压力度不够,且由于吸嘴与机械臂之间拆装困难,难以满足多种规格芯片的按压测试需求。因此,现有技术还有待于改进和发展。
实用新型内容
本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足,提供一种结构合理、用于IC测试的便捷式按压止转吸杆。
为了实现上述目的,本实用新型采用以下技术方案:
本实用新型所述的一种用于IC测试的便捷式按压止转吸杆,包括套筒吸杆和活动吸杆,所述活动吸杆的后端可活动地穿设于套筒吸杆的前端口内,活动吸杆与套筒吸杆之间设有弹簧,所述活动吸杆与套筒吸杆之间设有锁止装置。
根据以上方案,所述锁止装置包括导向槽和锁定螺栓,套筒吸杆前端的侧壁上设有螺纹通孔,螺纹通孔上设有与其螺接的锁定螺栓;所述活动吸杆的外侧壁上开设有导向槽,活动吸杆的后端穿设于套筒吸杆的前端口内从而使锁定螺栓的里端可活动地穿设于导向槽内。
根据以上方案,所述套筒吸杆的前端设有强化滑套,螺纹通孔开设于强化滑套上,活动吸杆的后端穿过强化滑套并可活动地设置在套筒吸杆内。
根据以上方案,所述活动吸杆的前端设有定位环台,弹簧套装在活动吸杆上,弹簧的两端分别抵触连接在强化滑套和定位环台上。
根据以上方案,所述套筒吸杆的后端口内设有束口环,束口环的口径小于套筒吸杆的内径,活动吸杆的内径小于束口环的内径。
本实用新型有益效果为:本实用新型结构合理,所述活动吸杆通过锁定螺栓安装在套筒吸杆上,锁定螺栓与导向槽配合控制了活动吸杆的行程范围,且可防止活动吸杆在套筒吸杆上自转,可根据按压测试所需压力进行弹簧更换,拆装方便、使用灵活、成本较低。
附图说明
图1是本实用新型的整体外部结构示意图;
图2是本实用新型的整体剖面结构示意图。
图中:
1、套筒吸杆;2、活动吸杆;3、弹簧;11、锁定螺栓;12、螺纹通孔;13、强化滑套;14、束口环;21、导向槽;22、定位环台。
具体实施方式
下面结合附图与实施例对本实用新型的技术方案进行说明。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造