[实用新型]一种精准安装晶片的固晶机吸嘴有效
申请号: | 202220486026.1 | 申请日: | 2022-03-08 |
公开(公告)号: | CN217822715U | 公开(公告)日: | 2022-11-15 |
发明(设计)人: | 曹喜茗 | 申请(专利权)人: | 曹喜茗 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 中山市科企联知识产权代理事务所(普通合伙) 44337 | 代理人: | 杨立铭 |
地址: | 564200 贵州省遵*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 精准 安装 晶片 固晶机吸嘴 | ||
1.一种精准安装晶片的固晶机吸嘴,所述吸嘴内设有用于通气的吸附通道,所述吸嘴的吸附端设有吸嘴口,其特征在于,所述吸嘴口内设有凹进形成的用于容纳晶片的凹槽,所述凹槽的朝向所述吸附通道的面上设有与所述吸附通道连通的吸孔,所述凹槽包括用于容纳晶片的第一空槽和用于减少晶片与凹槽的接触面积的第二空槽,所述第二空槽为沿着所述第一空槽内的底面向内凹进形成,所述第一空槽内的底面留有围绕所述第二空槽的底边缘,吸附晶片时,所述晶片置于所述第一空槽中,所述晶片的边缘抵在所述第一空槽的低边缘上。
2.根据权利要求1所述精准安装晶片的固晶机吸嘴,其特征在于,所述第一空槽的侧壁面呈向外倾斜设置。
3.根据权利要求1或2所述精准安装晶片的固晶机吸嘴,其特征在于,包括吸嘴杆体和位于所述吸嘴杆体一端的吸嘴锥体,所述吸嘴口设置在所述吸嘴锥体的尖锥端。
4.根据权利要求3所述精准安装晶片的固晶机吸嘴,其特征在于,所述吸附通道包括沿轴向设置在所述吸嘴杆体上的杆体通道和沿轴向设置在所述吸嘴锥体上的锥体通道,所述杆体通道的一端通向所述吸嘴杆体外部,另一端连通所述锥体通道,所述锥体通道为锥形设计。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造