[实用新型]一种金属表面镀膜制造机台有效

专利信息
申请号: 202220440170.1 申请日: 2022-03-01
公开(公告)号: CN216947180U 公开(公告)日: 2022-07-12
发明(设计)人: 李原吉;刘忠炯;林忠炫;魏木元 申请(专利权)人: 友威科技股份有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/34;C23C14/16;C23C14/02
代理公司: 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 代理人: 张伟
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 一种 金属表面 镀膜 制造 机台
【权利要求书】:

1.一种金属表面镀膜制造机台,其特征在于,该金属表面镀膜制造机台用于一金属待镀物进行金属表面镀膜处理,该金属表面镀膜制造机台包括:

一第一工艺腔体,其具有一线性电浆模组及一运输模组,该第一工艺腔体依次设置有一第一过渡区、一电浆处理区及一第二过渡区,该线性电浆模组设置于该电浆处理区,该运输模组使得该金属待镀物能够沿一运动方向往复移动于该第一过渡区及该第二过渡区之间,使得该线性电浆模组能够对该金属待镀物进行表面处理;以及

一第二工艺腔体,该第二工艺腔体与该第一工艺腔体固定连接,使得接收来自该第一工艺腔体的该金属待镀物,该第二工艺腔体能够对该金属待镀物的表面进行溅镀处理。

2.根据权利要求1所述的金属表面镀膜制造机台,其特征在于,该金属表面镀膜制造机台还包括有一预处理腔体,该预处理腔体固定连接于该第一工艺腔体远离该第二工艺腔体的一侧,该预处理腔体预先进行腔体内部的粗真空处理。

3.根据权利要求1所述的金属表面镀膜制造机台,其特征在于,该第一工艺腔体还包括有两个独立阀门,该两个独立阀门分别设置于该第一工艺腔体靠近该第一过渡区的一侧及该第一工艺腔体靠近该第二过渡区的另一侧。

4.根据权利要求1所述的金属表面镀膜制造机台,其特征在于,该第一工艺腔体还包括一承载板,该承载板用于提供该金属待镀物放置,该运输模组使得该承载板能够往复移动于该第一过渡区及该第二过渡区之间。

5.根据权利要求1所述的金属表面镀膜制造机台,其特征在于,该线性电浆模组于水平面并垂直于该运动方向的长度大于该金属待镀物于水平面并垂直于该运动方向的长度。

6.根据权利要求1所述的金属表面镀膜制造机台,其特征在于,该第一过渡区于水平面并平行于该运动方向的长度大于或等于该金属待镀物于水平面并平行于该运动方向的长度,该第二过渡区于水平面并平行于该运动方向的长度大于或等于该金属待镀物于水平面并平行于该运动方向的长度。

7.根据权利要求1所述的金属表面镀膜制造机台,其特征在于,该第二工艺腔体依次设置有一第一溅镀模组及一第二溅镀模组,该第一溅镀模组使得该金属待镀物的表面形成有一接合层,该第二溅镀模组使得该接合层远离该金属待镀物的一侧形成有一散热层。

8.根据权利要求1所述的金属表面镀膜制造机台,其特征在于,该第二工艺腔体设置有一第二溅镀模组,该第二溅镀模组能够在该金属待镀物的表面直接形成有一散热层。

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