[实用新型]一种石英坩埚自动检测设备

说明书

本实用新型公开一种石英坩埚自动检测设备，利用起吊装置竖向提升坩埚，X轴平移装置带动坩埚沿X轴方向移动；当移动到翻转机构时，两组夹紧臂相互靠近，利用翻转夹爪夹住坩埚，起吊装置放松坩埚后，坩埚被带动翻转，以便人工观察坩埚内部的质量；超声波检测探头在Y轴平移装置和Z轴升降装置的带动下调节到不同的位置，贴合到坩埚的外表面，从而检测坩埚外表面釉层的厚度；当坩埚到达尺寸检测机构时，转动支架带动检测夹板转动到不同的角度，两个检测夹板贴合于坩埚的外表面，利用直径测量光栅获得各个不同角度的直径。本实用新型能够实现对坩埚的转移，以及表面质量和直径尺寸测量等检测过程，减少了人工操作，可适用于大尺寸的坩埚。

技术领域

本实用新型涉及石英坩埚生产领域，具体涉及一种石英坩埚自动检测设备。

背景技术

石英坩埚制作过程中需要进行检测工序，测量坩埚的各项指标，传统的方式需要人工搬运、人工检测；石英坩埚尺寸越来越大，光伏行业单晶硅用到的石英坩埚尺寸已经达到36～40英寸，单只坩埚的外径达到900～1050mm，重量达到110～200kg。

对于大型坩埚的测量过程十分不便，对于本领域的技术人员来说，如何自动化的完成大型坩埚的测量工序，是目前需要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种石英坩埚自动检测设备，无需人工操作进行测量，自动化的完成大型坩埚的测量工序，具体方案如下：

一种石英坩埚自动检测设备，包括转运机构、翻转机构、厚度检测机构、尺寸检测机构；

所述转运机构包括X轴平移装置、起吊装置，所述起吊装置能够由所述X轴平移装置驱动平移，并能够竖向提升坩埚；

所述翻转机构包括两组能够相互开合的夹紧臂，所述夹紧臂转动连接翻转夹爪，相对设置的两个所述翻转夹爪夹紧坩埚，并带动坩埚相对于所述夹紧臂绕横向转轴翻转；

厚度检测机构包括Y轴平移装置、Z轴升降装置、超声波检测探头，所述超声波检测探头受所述Y轴平移装置和所述Z轴升降装置的驱动沿Y轴和Z轴移动；

尺寸检测机构包括检测基座、转动支架、检测夹板、直径测量光栅，所述转动支架能够相对于所述检测基座绕竖向转轴转动；两组所述检测夹板能够沿所述转动支架平移开合，所述直径测量光栅能够测量所述检测夹板之间的间距。

可选地，所述起吊装置包括起吊基座，所述起吊基座竖向滑动装配起吊滑轨，所述起吊滑轨的顶端与所述起吊基座之间设置起吊驱动器，所述起吊滑轨的底端连接起吊吸盘，所述起吊吸盘能够吸附在坩埚的底面。

可选地，所述起吊滑轨的底端设置到位检测支架，所述到位检测支架的与所述起吊吸盘等高的位置安装到位检测探头。

可选地，所述翻转夹爪竖向并排设置两个对中辊轮。

可选地，所述超声波检测探头通过检测旋转装置带动调节角度。

可选地，所述厚度检测机构还包括耦合剂加注喷头，所述超声波检测探头检测之前由所述耦合剂加注喷头向坩埚外表面喷射耦合剂。

可选地，所述检测夹板竖向滑动安装于直径检测滑架，所述直径检测滑架水平滑动安装于所述转动支架；所述检测夹板在夹板升降装置的带动下能够相对于所述直径检测滑架竖向平移。

可选地，所述尺寸检测机构还包括高度检测杆，高度测量光栅能够检测所述高度检测杆的位置，并与坩埚所放置的支撑台之间的间距测量坩埚的高度。

可选地，所述转运机构、翻转机构、厚度检测机构安装于机架之内，所述尺寸检测机构安装于所述机架之外；所述翻转机构位于所述机架的中部，所述机架的中部设置目检窗口。

可选地，所述机架设置数据汇总记录模块。