[实用新型]多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统

说明书

本实用新型公开了一种多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统，涉及多晶硅生产技术领域，主要目的是提高热效率。本实用新型的主要技术方案为：多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统，包括：精馏塔的中部进口连接于进料管道的一端，进料管道的另一端连接于预热器的第一空间，第一再沸器包括第三空间和第四空间，第四空间连通于蒸汽管道，精馏塔的下端侧连接于侧线采出管的一端；第二再沸器包括第五空间和第六空间，第五空间的一端连接于反歧化分离塔的下端，另一端连接于反歧化分离塔的下端侧，第六空间的一端连接于侧线采出管的另一端，第二空间的另一端连接于反歧化反应器的进口，反歧化反应器的出口连接于反歧化分离塔的中部进口。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统。

背景技术

本专利应用于多晶硅生产过程中精馏系统对四氯化硅的分离提纯。自还原炉出来的气相混合物经过尾气回收系统将氢气与氯硅烷分离后，液态氯硅烷混合物进入精馏系统的还原精馏一级塔，对四氯化硅进行分离。塔釜得到的四氯化硅需要分出一部分用另一台精馏塔进行进一步分离提纯去除高沸杂质，然后供给反歧化系统使用。反歧化反应器出口的氯硅烷混合物再进入反歧化分离塔进行分离。

以上工艺过程共需要三台精馏塔，三台精馏塔的再沸器均使用蒸汽作为热源，热效率较低。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统，主要目的是提高热效率，降低多晶硅的生产成本。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型提供了一种多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统，该系统包括：初级分离部、反歧化反应器和二级分离部；

所述初级分离部包括预热器和精馏机构，所述预热器包括第一空间和第二空间，所述第一空间和所述第二空间相互隔离，所述精馏机构包括精馏塔和第一再沸器，所述精馏塔的中部进口连接于进料管道的一端，所述进料管道的另一端连接于所述预热器的第一空间，所述第一再沸器包括第三空间和第四空间，所述第三空间和所述第四空间相互隔离，所述第三空间的一端连接于所述精馏塔的下端，另一端连接于所述精馏塔的下端侧，所述第四空间连通于蒸汽管道，所述精馏塔的下端侧连接于侧线采出管的一端；

所述二级分离部包括反歧化分离塔和第二再沸器，所述第二再沸器包括第五空间和第六空间，所述第五空间和所述第六空间相互隔离，所述第五空间的一端连接于所述反歧化分离塔的下端，另一端连接于所述反歧化分离塔的下端侧，所述第六空间的一端连接于所述侧线采出管的另一端，所述第六空间的另一端连接于所述第二空间的一端，所述第二空间的另一端连接于所述反歧化反应器的进口，所述反歧化反应器的出口连接于所述反歧化分离塔的中部进口。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

可选的，所述精馏塔的下端连接于第一底部采出管。

可选的，所述反歧化分离塔的下端连接于第二底部采出管。

可选的，所述第二空间的另一端还连接于成品采出管。

可选的，还包括第一冷凝器，所述第一冷凝器连接于所述精馏塔的上端。

可选的，所述精馏塔的顶部设有第一回流管。

可选的，还包括第二冷凝器，所述第二冷凝器连接于所述反歧化分离塔的上端。

可选的，所述反歧化分离塔的顶部设有第二回流管。

借由上述技术方案，本实用新型至少具有下列优点：

还原炉出来的物料主要为未反应完全的氢气与三氯氢硅、副产物四氯化硅与二氯二氢硅的气相混合物，经过尾气回收系统进行分离后，三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅以液态氯硅烷混合物的状态依次经过第一空间和进料管道进入精馏塔。