[实用新型]用于三维影像扫描的附着装置有效
申请号: | 202220311470.X | 申请日: | 2022-02-16 |
公开(公告)号: | CN217005735U | 公开(公告)日: | 2022-07-19 |
发明(设计)人: | 林益生;刘政鑫;萧友享 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | G01B15/04 | 分类号: | G01B15/04;G03B42/02 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人: | 章社杲;李伟 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 三维 影像 扫描 附着 装置 | ||
本公开实施例涉及一种用于三维影像扫描的附着装置。该附着装置包括:可旋转的底座以及夹具,夹具位于底座上并且可拆卸地固定于底座,附着装置还包括第一板体,第一板体的底部由夹具夹持,第一板体用于附着电子元件。本实用新型的目的在于提供一种附着装置,以至少为被扫描件提供良好的支撑。
技术领域
本实用新型涉及用于三维影像扫描的附着装置。
背景技术
目前X射线成像显微镜(X-ray imaging microscopes,XRM)主要用来对封装件(PKG)进行检测,检测方法主要为将封装件(PKG)固定在支撑(hold)夹具上,扫描时将支撑(hold)夹具旋转以提供各维度的影像扫描。由于封装件(PKG)整体弹性度较低,当采用XRM对封装件(PKG)进行扫描影像时,支撑(hold)夹具在旋转时不会影响封装件(PKG),即不会使封装件(PKG)产生摇晃,但如果要对具有弹性或较软的物件通过XRM进行检测时,即便夹具固定条状衬底(strip substrate)的一端,当支撑(hold)夹具旋转时,条状衬底也会无法保持直立(由于条状衬底具有弹性且较软),其未被夹具固定的另一端会在旋转时摇晃,导致扫描过程无法聚焦成像。
实用新型内容
针对相关技术中存在的问题,本实用新型的目的在于提供一种用于三维影像扫描的附着装置,以至少为被扫描件提供良好的支撑。
为实现上述目的,本实用新型提供了一种用于三维影像扫描的附着装置,包括:可旋转的底座;夹具,位于底座上并且可拆卸地固定于底座;第一板体,第一板体的底部由夹具夹持,第一板体用于附着电子元件。
优选的,电子元件是具有弹性材料的条状衬底。
优选的,用于三维影像扫描的附着装置还包括:第二板体,第二板体的底部由夹具夹持,第二板体用于与第一板体一同夹持电子元件。
优选的,用于三维影像扫描的附着装置还包括:固定装置,用于固定第一板体和第二板体。
优选的,固定装置包括螺钉。
优选的,固定装置可调整第一板体和第二板体之间的间隔。
优选的,第一板体和第二板体的相互面对的面平行于底座的旋转轴线。
优选的,底座与第一板体、第二板体之间还通过螺钉固定连接。
优选的,第一板体和第二板体的至少一个是实心板体。
优选的,第一板体和第二板体包括X光可穿透的材料。
优选的,第一板体和第二板体的材料相同。
优选的,第一板体和第二板体的材料包括铝。
优选的,第一板体和第二板体是长方体板,并且长方体板的长边平行于底座的旋转轴线。
优选的,电子元件可通过胶体附着至第一板体。
优选的,第二板体具有面向第一板体的突起,第一板体具有容纳突起的孔。
优选的,第一板体和第二板体的外轮廓的尺寸相同。
优选的,底座可绕旋转轴线作360°旋转。
优选的,夹具通过螺钉固定于底座。
优选的,第一板体和第二板体比电子元件硬。
优选的,用于三维影像扫描的附着装置用于X光显微成像机,底座的旋转轴线垂直于X光显微成像机发出的X光的延伸方向。
附图说明
图1为本实用新型一些优选实施例中的立体结构示意图。
图2为附着装置的侧视图。
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