[实用新型]一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置有效

专利信息
申请号: 202220282034.4 申请日: 2022-02-11
公开(公告)号: CN217324260U 公开(公告)日: 2022-08-30
发明(设计)人: 陈国龙 申请(专利权)人: 浙江摩鼎纳米科技有限公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310000 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 预置 带电 粒子 离子 镀膜 装置
【说明书】:

本实用新型公开了一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置,包括离子镀膜装置本体,所述离子镀膜装置本体上可拆卸安装有散热板,所述散热板上设有散热管,所述离子镀膜装置本体上设有壳体,所述壳体内设有冷却液箱体和循环泵,所述冷却液箱体和循环泵之间通过连通管连通,所述冷却液箱体与散热管一端通过水管连通。本实用新型中,散热板安装在离子镀膜装置本体上,吸收离子镀膜装置本体上的热量,启动循环泵将冷却液箱体内的冷却液抽入散热管,冷却液从冷却液箱体流动至循环泵,后通过水管进入散热管,再通过水管进入冷却液箱体,相比于传动的自然散热的方式,散热时间短,散热效率高。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域,尤其涉及一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置。

背景技术

薄膜材料已经成为国家制造业中的一种重要材料,具有巨大的经济效益,被广泛地应用于航空、航天、冶金、化工、能源及生物等领域,与其他技术方法相比,电弧离子镀技术具有离化率高、沉积速率高、膜基结合力良好及设备操作简单等特点而在工业中获得了应用。

现有授权公开号为CN207121635U,专利名称是一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置,该装置可以获得均匀且无大颗粒缺陷的薄膜,然而,现有技术中的多弧离子镀膜装置通过自然散热的方式进行散热,即多弧离子镀膜装置直接将热量散发在空气中,进而导致散热时间长,散热效率低。

实用新型内容

为了解决上述背景技术中的所提到的技术问题,而提出的一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置,包括离子镀膜装置本体,所述离子镀膜装置本体上可拆卸安装有散热板,所述散热板上设有散热管,所述离子镀膜装置本体上设有壳体,所述壳体内设有冷却液箱体和循环泵,所述冷却液箱体和循环泵之间通过连通管连通,所述冷却液箱体与散热管一端通过水管连通,所述循环泵与散热管另一端通过水管连通。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述水管上固定安装有安装套,所述安装套上转动安装有转动套,所述散热管的两端设有螺纹,所述转动套内开设有螺纹孔。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述安装套内开设有密封槽,所述密封槽内设有O形圈,所述O形圈与散热管的外表壁抵触。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述安装套内开设有转动槽,所述转动套上固定连接有在转动槽内转动的转动块。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述离子镀膜装置本体上设有压铆螺母,所述散热板两端固定连接有安装板,所述安装板内开设有沉头孔,所述安装板内设有穿过沉头孔的螺栓。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述散热板由铝制材料制成。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述散热管由铜制材料制成。

综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:

1、本实用新型中,散热板安装在离子镀膜装置本体上,吸收离子镀膜装置本体上的热量,启动循环泵将冷却液箱体内的冷却液抽入散热管,冷却液从冷却液箱体流动至循环泵,后通过水管进入散热管,再通过水管进入冷却液箱体,相比于传动的自然散热的方式,散热时间短,散热效率高。

2、本实用新型中,转动转动套,可以将安装套从散热管顶部拆下,便于拆装,其中,O形圈起到密封作用,阻止冷却液从安装套和散热管之间的间隙流出,提高密封效果。

附图说明

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