[实用新型]一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置有效
申请号: | 202220282034.4 | 申请日: | 2022-02-11 |
公开(公告)号: | CN217324260U | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 陈国龙 | 申请(专利权)人: | 浙江摩鼎纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 预置 带电 粒子 离子 镀膜 装置 | ||
本实用新型公开了一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置,包括离子镀膜装置本体,所述离子镀膜装置本体上可拆卸安装有散热板,所述散热板上设有散热管,所述离子镀膜装置本体上设有壳体,所述壳体内设有冷却液箱体和循环泵,所述冷却液箱体和循环泵之间通过连通管连通,所述冷却液箱体与散热管一端通过水管连通。本实用新型中,散热板安装在离子镀膜装置本体上,吸收离子镀膜装置本体上的热量,启动循环泵将冷却液箱体内的冷却液抽入散热管,冷却液从冷却液箱体流动至循环泵,后通过水管进入散热管,再通过水管进入冷却液箱体,相比于传动的自然散热的方式,散热时间短,散热效率高。
技术领域
本实用新型涉及镀膜设备技术领域,尤其涉及一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置。
背景技术
薄膜材料已经成为国家制造业中的一种重要材料,具有巨大的经济效益,被广泛地应用于航空、航天、冶金、化工、能源及生物等领域,与其他技术方法相比,电弧离子镀技术具有离化率高、沉积速率高、膜基结合力良好及设备操作简单等特点而在工业中获得了应用。
现有授权公开号为CN207121635U,专利名称是一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置,该装置可以获得均匀且无大颗粒缺陷的薄膜,然而,现有技术中的多弧离子镀膜装置通过自然散热的方式进行散热,即多弧离子镀膜装置直接将热量散发在空气中,进而导致散热时间长,散热效率低。
实用新型内容
为了解决上述背景技术中的所提到的技术问题,而提出的一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置,包括离子镀膜装置本体,所述离子镀膜装置本体上可拆卸安装有散热板,所述散热板上设有散热管,所述离子镀膜装置本体上设有壳体,所述壳体内设有冷却液箱体和循环泵,所述冷却液箱体和循环泵之间通过连通管连通,所述冷却液箱体与散热管一端通过水管连通,所述循环泵与散热管另一端通过水管连通。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述水管上固定安装有安装套,所述安装套上转动安装有转动套,所述散热管的两端设有螺纹,所述转动套内开设有螺纹孔。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述安装套内开设有密封槽,所述密封槽内设有O形圈,所述O形圈与散热管的外表壁抵触。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述安装套内开设有转动槽,所述转动套上固定连接有在转动槽内转动的转动块。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述离子镀膜装置本体上设有压铆螺母,所述散热板两端固定连接有安装板,所述安装板内开设有沉头孔,所述安装板内设有穿过沉头孔的螺栓。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述散热板由铝制材料制成。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述散热管由铜制材料制成。
综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型中,散热板安装在离子镀膜装置本体上,吸收离子镀膜装置本体上的热量,启动循环泵将冷却液箱体内的冷却液抽入散热管,冷却液从冷却液箱体流动至循环泵,后通过水管进入散热管,再通过水管进入冷却液箱体,相比于传动的自然散热的方式,散热时间短,散热效率高。
2、本实用新型中,转动转动套,可以将安装套从散热管顶部拆下,便于拆装,其中,O形圈起到密封作用,阻止冷却液从安装套和散热管之间的间隙流出,提高密封效果。
附图说明
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江摩鼎纳米科技有限公司,未经浙江摩鼎纳米科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202220282034.4/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类