[实用新型]一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置有效
| 申请号： | 202220282034.4 | 申请日： | 2022-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN217324260U | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 陈国龙 | 申请（专利权）人： | 浙江摩鼎纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 预置 带电 粒子 离子 镀膜 装置 | ||
1.一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置，包括离子镀膜装置本体(1)，其特征在于，所述离子镀膜装置本体(1)上可拆卸安装有散热板(2)，所述散热板(2)上设有散热管(6)，所述离子镀膜装置本体(1)上设有壳体(7)，所述壳体(7)内设有冷却液箱体(8)和循环泵(9)，所述冷却液箱体(8)和循环泵(9)之间通过连通管(11)连通，所述冷却液箱体(8)与散热管(6)一端通过水管(10)连通，所述循环泵(9)与散热管(6)另一端通过水管(10)连通。
2.根据权利要求1所述的一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置，其特征在于，所述水管(10)上固定安装有安装套(12)，所述安装套(12)上转动安装有转动套(13)，所述散热管(6)的两端设有螺纹(14)，所述转动套(13)内开设有螺纹孔(1301)。
3.根据权利要求2所述的一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置，其特征在于，所述安装套(12)内开设有密封槽(1201)，所述密封槽(1201)内设有O形圈(15)，所述O形圈(15)与散热管(6)的外表壁抵触。
4.根据权利要求3所述的一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置，其特征在于，所述安装套(12)内开设有转动槽(1202)，所述转动套(13)上固定连接有在转动槽(1202)内转动的转动块(16)。
5.根据权利要求4所述的一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置，其特征在于，所述离子镀膜装置本体(1)上设有压铆螺母，所述散热板(2)两端固定连接有安装板(3)，所述安装板(3)内开设有沉头孔(301)，所述安装板(3)内设有穿过沉头孔(301)的螺栓(4)。
6.根据权利要求5所述的一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置，其特征在于，所述散热板(2)由铝制材料制成。
7.根据权利要求6所述的一种预置带电粒子多弧离子镀膜装置，其特征在于，所述散热管(6)由铜制材料制成。
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