[实用新型]一种匀胶显影机的冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种匀胶显影机的冷却装置，包括底板，所述底板顶部固定连接有两个对应设置的侧板，所述侧板相对一侧设有安装组件，所述安装组件包括固定框、滑动槽、定位槽、定位条、压条，所述定位条固定连接有安装板，所述安装板上设有冷板，所述冷板上设有冷却通道，所述冷却通道两端分别连接进液口与出液口，所述进液口与出液口均通过连接组件连接有进液管与出液管，所述连接组件包括第一接头、第二接头、突出管、对应槽、密封垫、密封环，该匀胶显影机的冷却装置设置了安装组件，便于冷板的安装及拆卸，并且设置了连接组件，便于冷板与管道的分离，进一步方便冷板的安装与拆卸。

技术领域

本实用新型涉及一种匀胶显影机的冷却装置，属于显影机技术领域。

背景技术

匀胶显影机需要对曝光后烘干的硅片降温到23℃左右，匀胶显影机的冷却是通过冷板对硅片冷却，冷板上设置有冷却通道，该冷却通道连通冷却液供应系统，现有的匀胶显影机的冷却装置存在以下不足：1、冷板的安装板多是通过螺栓连接固定架，使其安装及拆卸不便；2、冷却通道与管道的连接结构安装拆卸不便，使得冷板的安装拆卸变得麻烦。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题克服现有的缺陷，提供一种匀胶显影机的冷却装置，以解决上述背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种匀胶显影机的冷却装置，包括底板，所述底板顶部固定连接有两个对应设置的侧板，所述侧板相对一侧设有安装组件，所述安装组件包括固定框、滑动槽、定位槽、定位条、压条，所述定位条固定连接有安装板，所述安装板上设有冷板，所述冷板上设有冷却通道，所述冷却通道两端分别连接进液口与出液口，所述进液口与出液口均通过连接组件连接有进液管与出液管，所述连接组件包括第一接头、第二接头、突出管、对应槽、密封垫、密封环。

进一步的，所述滑动槽设于固定框上，所述定位槽设于滑动槽底部，所述定位条设于定位槽内，所述压条设于定位条上方，且所述压条设于滑动槽内，所述压条紧压定位条。

进一步的，所述定位条上设有定位孔，所述定位槽内与定位孔相对应的位置设有定位柱，所述定位柱活动连接定位孔。

进一步的，所述冷板顶部设有定位块，所述定位块内侧设有通孔，所述通孔设于冷板上。

进一步的，所述突出管与对应槽分别设于第一接头底部与第二接头顶部，所述突出管设于对应槽内。

进一步的，所述密封垫设于对应槽内，所述密封环设于第一接头与第二接头之间。

本实用新型的有益效果是：1、通过设置安装组件，其结构包括固定框、滑动槽、定位槽、定位条、压条，便于安装板的安装拆卸，使得冷板的更换及检修十分便利，有利于冷板的使用；

2、通过设置连接组件，其结构包括第一接头、第二接头、突出管、对应槽、密封垫、密封环，便于管道与冷板分离，在安装及拆卸冷板时更加的方便。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的具体实施方式一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

图1是本实用新型一种匀胶显影机的冷却装置的外观图；

图2是本实用新型一种匀胶显影机的冷却装置的固定框的外观图；

图3是本实用新型一种匀胶显影机的冷却装置的定位条的外观图；

图4是本实用新型一种匀胶显影机的冷却装置的冷板的剖视图；

图5是本实用新型一种匀胶显影机的冷却装置的剖视图；

图6是本实用新型一种匀胶显影机的冷却装置的连接组件的结构示意图。