[实用新型]一种匀胶显影机的冷却装置有效

专利信息
申请号: 202220269962.7 申请日: 2022-02-10
公开(公告)号: CN217236168U 公开(公告)日: 2022-08-19
发明(设计)人: 贺武峰;吴想 申请(专利权)人: 江西维易尔半导体设备有限公司
主分类号: F25D3/00 分类号: F25D3/00;G03F7/30
代理公司: 南昌金轩知识产权代理有限公司 36129 代理人: 文珊
地址: 334000 江西省上*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 显影 冷却 装置
【权利要求书】:

1.一种匀胶显影机的冷却装置,包括底板(1),其特征在于,所述底板(1)顶部固定连接有两个对应设置的侧板(2),所述侧板(2)相对一侧设有安装组件(3),所述安装组件(3)包括固定框(4)、滑动槽(5)、定位槽(6)、定位条(7)、压条(8),所述定位条(7)固定连接有安装板(9),所述安装板(9)上设有冷板(10),所述冷板(10)上设有冷却通道(11),所述冷却通道(11)两端分别连接进液口(12)与出液口(13),所述进液口(12)与出液口(13)均通过连接组件(14)连接有进液管(15)与出液管(16),所述连接组件(14)包括第一接头(17)、第二接头(18)、突出管(19)、对应槽(20)、密封垫(21)、密封环(22)。

2.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的冷却装置,其特征在于:所述滑动槽(5)设于固定框(4)上,所述定位槽(6)设于滑动槽(5)底部,所述定位条(7)设于定位槽(6)内,所述压条(8)设于定位条(7)上方,且所述压条(8)设于滑动槽(5)内,所述压条(8)紧压定位条(7)。

3.根据权利要求2所述的一种匀胶显影机的冷却装置,其特征在于:所述定位条(7)上设有定位孔(23),所述定位槽(6)内与定位孔(23)相对应的位置设有定位柱(24),所述定位柱(24)活动连接定位孔(23)。

4.根据权利要求3所述的一种匀胶显影机的冷却装置,其特征在于:所述冷板(10)顶部设有定位块(25),所述定位块(25)内侧设有通孔(26),所述通孔(26)设于冷板(10)上。

5.根据权利要求4所述的一种匀胶显影机的冷却装置,其特征在于:所述突出管(19)与对应槽(20)分别设于第一接头(17)底部与第二接头(18)顶部,所述突出管(19)设于对应槽(20)内。

6.根据权利要求5所述的一种匀胶显影机的冷却装置,其特征在于:所述密封垫(21)设于对应槽(20)内,所述密封环(22)设于第一接头(17)与第二接头(18)之间。

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