[实用新型]一种二维运动平台

说明书

本实用新型涉及半导体封装制造技术领域，提供了一种二维运动平台，包括底座、X向运动平台、Y向运动平台、工作运动平台、X向驱动直线电机以及Y向驱动直线电机。X向及Y向驱动直线电机可分别驱动X向运动平台及Y向运动平台线性运动，并最终驱动工作运动平台在XY平面内做二维线性运动,本实用新型的二维运动平台的直线电机定子通过柔性装置安装到运动平台底座上，从而减小了直线电机定子对运动平台底座的冲击力，减小运动平台的振动，提升了运动平台运行的稳定性和定位精度；本实用新型可明显降低电机定子对运动平台底座的冲击，减小运动平台及底座的振动，使得运动平台运行更加稳定，停止时稳定时间明显加快，振动时间缩短，定位精度提高。

技术领域

本实用新型涉及半导体封装制造技术领域，特别是涉及到一种引线键合设备运动平台，具体涉及一种二维运动平台。

背景技术

由于机械加工特别是半导体封装领域对加工速度和精度的要求不断提高，目前高速二维运动平台普遍采用大推力直线电机驱动及较轻的运动部件实现高速高加速运动。但是当运动平台的速度及加速度提高到一定程度时，运动平台的机械振动开始变得明显。特别是在半导体封装领域使用的二维线性运动平台，往往需要高加速、频繁启停换向、短行程往复运动，此时运动平台振动显著，直接影响了平台的定位精度和平台定位进入稳定的时间。

通过分析这是由于电机施加动力驱动运动平台运动时，运动平台对电机定子产生反作用力。而目前的二维运动平台电机定子普遍采用刚性连接直接固定在运动平台底座上，电机定子受到的反作用力会直接传递给运动平台底座，使运动平台底座产生振动，运动平台底座的振动又会传递到运动平台，使运动平台振动，最后影响运动平台的定位精度和稳定速度。特别是要继续提高运动平台速度和加速度时，电机传递给运动平台底座的反作用力也会加大，振动会变得更加剧烈，使运动平台的定位精度进一步下降。

因此，电机对运动平台底座的反作用力引起的振动严重制约了运动平台进一步的提速，需要开发高速高加速运动平台必须要解决电机传递给运动平台底座的反作用力引起的平台振动。

实用新型内容

针对上述现有技术的不足，本实用新型提供一种二维运动平台，减小了电机定子对底座的冲击引起的振动，底座及整个运动平台运动时更加稳定，使运动平台振动时间缩短，定位精度提高。

本实用新型采用的技术方案如下：

第一方面，在本实用新型提供的一个实施例中，提供了一种二维运动平台，包括底座、X向运动平台、Y向运动平台、工作运动平台、X向驱动直线电机以及Y向驱动直线电机；所述X向运动平台通过X向导轨安装在底座上，所述X 向运动平台用于相对底座沿着X向线性运动；所述Y向运动平台通过Y向导轨安装在底座上，所述Y向运动平台用于相对底座沿着Y向线性运动；所述工作运动平台通过运动平台导轨安装在X向运动平台上，所述工作运动平台通过解耦导轨与Y向运动平台相连接，工作运动平台用于在X向运动平台和Y向运动平台的带动下在XY平面内做线性运动；所述X向驱动直线电机，用于驱动X 向运动平台运动；所述Y向驱动直线电机用于驱动Y向运动平台运动。

作为本实用新型的进一步方案，所述X向驱动直线电机包括X向直线电机定子和X向直线电机动子，X向直线电机动子通过X向电机安装夹爪安装在X 向运动平台上。

作为本实用新型的进一步方案，所述X向直线电机定子两端还安装有X向驱动配重块。

作为本实用新型的进一步方案，所述Y向驱动直线电机包括Y向直线电机定子和Y向直线电机动子，Y向直线电机动子通过Y向电机安装夹爪安装在Y 向运动平台上。

作为本实用新型的进一步方案，所述X向直线电机定子通过X向电机安装板及X向驱动导轨安装在底座上，Y向直线电机定子通过Y向电机安装板及Y 向驱动导轨安装在底座上。

作为本实用新型的进一步方案，所述二维运动平台还包括:一对第一弹簧X 向布置安装在X向直线电机定子两端面与底座之间；以及一对第一缓冲器，X 向布置安装在X向直线电机定子两端面与底座之间。