[实用新型]一种用于贴膜装置的防护机构及贴膜装置

说明书

本申请公开了一种用于贴膜装置的防护机构及贴膜装置，贴膜装置包括贴膜台和固定连接于贴膜台一侧的转料台，转料台具有用于容置贴膜装置的载料台的容置空间，防护机构包括第一连接结构和罩体，第一连接结构用于与贴膜台连接，罩体经由第一连接结构用于与贴膜台连接，且可相对转料台沿预设方向运动，以使罩体具有罩设容置空间的开口的关闭状态、以及具有显露容置空间的开口的打开状态，罩体可在关闭状态和打开状态之间切换。通过该设计，能够有效降低工作人员在载料台来回运动的过程中被误伤的风险，提高了贴膜装置的安全性能。

技术领域

本申请涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种用于贴膜装置的防护机构及贴膜装置。

背景技术

在晶圆加工过程中，其中一道工序为利用贴膜装置给晶圆的表面贴膜，贴膜装置通常包括转料台和用于在贴膜装置的加工位置和转料台之间传送晶圆的载料台，载料台移动至转料台承载待贴膜的晶圆，并带着待贴膜晶圆移动至贴膜装置的加工位置进行贴膜，当晶圆完成贴膜后，载料台承载已贴膜晶圆移动至转料台，以便于将晶圆移送至下一加工工位。

而工作人员在操作过程中，容易被在贴膜装置的加工位置和载料台之间来回运动的载料台所误伤，因此，如何提高贴膜装置的安全性能以降低工作人员在载料台来回运动的过程中被误伤的风险已成为亟待解决的问题。

实用新型内容

本申请实施例提供一种用于贴膜装置的防护机构及贴膜装置，能够有效降低工作人员在载料台来回运动的过程中被误伤的风险，提高了贴膜装置的安全性能。

第一方面，本申请实施例提供了一种用于贴膜装置的防护机构；贴膜装置包括贴膜台和固定连接于贴膜台一侧的转料台，转料台具有用于容置贴膜装置的载料台的容置空间，防护机构包括第一连接结构和罩体，第一连接结构用于与贴膜台连接，罩体经由第一连接结构用于与贴膜台连接，且可相对转料台沿预设方向运动，以使罩体具有罩设容置空间的开口的关闭状态、以及具有显露容置空间的开口的打开状态，罩体可在关闭状态和打开状态之间切换。

基于本申请实施例的防护机构，当载料台需要相对转料台运动以移送晶圆时，推动罩体让罩体相对转料台运动至罩设转料台的容置空间的开口而处于关闭状态，使得工作人员在操作过程中不会被相对转料台运动的载料台所误伤，提高了贴膜装置的安全性能；推动罩体让罩体相对转料台运动至显露出转料台的容置空间的开口而处于打开状态，以便于将转料台的容置空间内的已完成贴膜的晶圆转移至下一工序的加工位置，以及便于将待加工晶圆经由转料台的容置空间的开口放置于载料台上。

在其中一些实施例中，第一连接结构包括一导轨，导轨与贴膜台连接，罩体的一侧与导轨滑动连接，其中，导轨的延伸方向与预设方向平行。

基于上述实施例，罩体的一侧与导轨滑动连接，通过推动罩体沿导轨滑动，可以使得罩体在罩设转料台的容置空间的开口和显露转料台的容置空间的开口直接切换，降低了罩体在关闭状态与打开状态之间切换的难度，且导轨能够给罩体提供支撑作用，使得罩体在运动过程中保持平稳。

在其中一些实施例中，沿导轨的延伸方向上，导轨的长度尺寸大于罩体的长度尺寸。

基于上述实施例，通过将导轨的长度尺寸设计成大于罩体的长度尺寸，罩体在由关闭状态沿导轨滑动至打开状态的过程中，导轨还能继续给罩体提供支撑，使得罩体在运动过程中以及处于打开状态时可以保持平稳，提高了防护机构的稳定性。

在其中一些实施例中，防护机构还包括第二连接结构，第二连接结构与转料台连接，且罩体远离第一连接结构的一侧经由第二连接结构与转料台连接。

基于上述实施例，罩体经由第二连接结构与转料台连接，使得罩体在相对转料台运动的过程中，第二连接结构也能够给罩体提供支撑作用，进一步提高了罩体在运动过程中的稳定性。