[实用新型]一种气浮轨道装置

说明书

本实用新型公开了一种气浮轨道装置，包括：大理石基体，所述大理石基体的上表面伸出大理石基座，大理石基座两侧设置有横梁安装座和气浮侧板，横梁安装座与气浮侧板垂直安装构成直角，并与大理石基座配合，大理石基座的两侧均设置有磁性材料；气浮侧板上设置有与磁性材料高度相对应的第一磁铁，磁铁的下方设置有侧板气浮平板轴承，横梁安装座上表面设置有横梁安装槽，横梁安装座底部设置有安装板气浮平板轴承，气浮侧板在受到气浮力与磁力的作用下保持平衡，横梁安装座在在受到重力与气浮力之间保持平衡。本实用新型的气浮侧板在受到气浮力与磁力的作用下保持平衡，在运行过程中，通过正压与负压之间配合能够平稳的运行。

技术领域

本实用新型涉及晶圆隐切技术领域，特别是涉及一种气浮轨道装置。

背景技术

晶圆激光隐切和及晶圆low-k膜激光刻槽等高精度加工过程中，要求整个运动系统运行稳定性高，普通导轨在低俗运行中容易爬行，高速运行过程中生热严重，长期运行需要定期维护，运行过程中摩擦阻力大，设备精度收安装底座、导轨、滑块、滑块安装座等多因素影响。普通导轨在低俗运行中容易爬行，高速运行过程中生热严重，长期运行需要定期维护，运行过程中摩擦阻力大，设备精度收安装底座、导轨、滑块、滑块安装座等多因素影响。

常规气浮轴承多采用正压加负压方式，正压入口将大量压缩空气排出支撑起气浮轴承，负压则通过真空气腔将气浮轴承与接触面吸引，通过正压和负压的相互作用使得气浮轴承稳定运行，采用负压会引起过多资源的浪费，负压的压力不稳定会引起气浮轴承运行的波动。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种能够在运行过程中平稳、并能减小摩擦的气浮轨道装置。

具体方案如下：

一种气浮轨道装置，包括：大理石基体，所述大理石基体的上表面伸出大理石基座，大理石基座两侧设置有横梁安装座和气浮侧板，横梁安装座与气浮侧板垂直安装构成直角，并与大理石基座配合，大理石基座的两侧均设置有磁性材料；气浮侧板上设置有与磁性材料高度相对应的第一磁铁，磁铁的下方设置有侧板气浮平板轴承，横梁安装座上表面设置有横梁安装槽，横梁安装座底部设置有安装板气浮平板轴承，气浮侧板在受到气浮力与磁力的作用下保持平衡，横梁安装座在受到重力与气浮力之间保持平衡。

所述磁性材料为与磁铁极性相反的第二磁铁。

所述磁性材料为铁磁材料。

气浮侧板上设置有侧板气浮调节块，侧板气浮调节块通过旋转位于侧板气浮调节块上的侧板气浮调节块螺丝改变安装侧板与大理石基座之间的距离，横梁安装板上设置有安装板气浮调节块，安装板气浮调节块通过旋转位于安装板气浮调节块螺丝改变横梁安装板与大理石基座之间的距离。

本实用新型的气浮侧板在受到气浮力与磁力的作用下保持平衡，横梁安装座在受到重力与气浮力之间保持平横，横梁安装座在Y轴直线电机驱动下，沿着大理石基座运动，在气力和磁力的共同作用下，横梁安装座能够平稳的运行，使得在隐切过程中加工平台的平稳。大理石基座上设置有多个Y轴缓冲器，使得横梁安装座的运行能够避免超出行程。

附图说明

图1为气浮切割平台；

图2为横梁安装座和气浮侧板之间的连接关系图；

图3为图2的侧视图；

图4为气浮载台的结构示意图；

图5为底部的零件图；

图6为图5的俯视图；

图7为图6中A局部放大图。