[实用新型]升降机构及片材搬送装置

说明书

本申请提供了升降机构及片材搬送装置，升降机构应用于片材搬送装置，片材搬送装置包括搬运机构及升降机构，升降机构包括第一驱动器及凸轮机构，凸轮机构包括凸轮及从动件，凸轮与第一驱动器连接，第一驱动器用于驱动凸轮转动；从动件与凸轮的外轮廓接触连接，从动件能够被凸轮带动做往复升降运动，从动件设置为与待搬运片材连接。第一驱动器驱动凸轮转动，从动件沿着凸轮的外轮廓转动，被凸轮带动做往复运动，应用于片材搬送装置，可带动待搬运片材上升和下降至预设位置，本申请升降机构动力传输稳定，升降定位准确，精度高，减少了由于升降定位不准确和精度不够带来的问题，有效提高了产品的生产效率和产品质量。

技术领域

本申请属于机械设备技术领域，更具体地说，是涉及一种升降机构及片材搬送装置。

背景技术

LCD曝光机是将涂有光刻胶的基板与掩膜重叠，并将掩膜的图形烧制到基板上的设备，是半导体设备的关键设备。

LCD曝光机的主要技术指标体现在搬送控制系统的准确性、预定位和曝光定位的精度、曝光光学系统的分辨率及曝光光源的均匀稳定性上，而预定位是该设备的关键技术之一。现有搬运设备的升降定位准确性和精度较难保障，影响了产品的质量和生产效率，是目前亟需要解决的技术问题。

实用新型内容

本申请目的在于提供一种升降机构及片材搬送装置，以解决现有技术中存在的搬运设备的升降定位准确性和精度较难保障的技术问题。

为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种升降机构，应用于片材搬送装置，升降机构包括：

第一驱动器；及

凸轮机构，凸轮机构包括凸轮及从动件，凸轮与第一驱动器连接，第一驱动器用于驱动凸轮转动；从动件与凸轮的外轮廓接触连接，从动件能够被凸轮带动做往复升降运动，从动件设置为与待搬运片材连接。

可选地，升降机构还包括转动轴、第一检测组件及第二检测组件，第一检测组件包括第一检测器及第一被检测件，第二检测组件包括第二检测器及第二被检测件；转动轴连接第一驱动器，凸轮、第一被检测件及第二被检测件分别设于转动轴上；在转动轴旋转的过程中，第一被检测件与第一检测器配合工作以检测从动件是否上升至最高点，第二被检测件与第二检测器配合工作以检测从动件是否下降至最低点。

可选地，升降机构还包括固定架和升降导向件，升降导向件和第一驱动器安装于固定架上，升降导向件用于导向待搬运片材升降。

本申请还提供了一种片材搬送装置，包括支架、搬运机构及如上述任一所述的升降机构；从动件远离凸轮的一端连接支架，搬运机构连接支架，支架及搬运机构能够跟随从动件做往复升降运动；搬运机构用于横向输送待搬运片材。

可选地，搬运机构包括第二驱动器、横移传动组件和搬运臂；第二驱动器安装于支架上，横移传动组件连接于第二驱动器的输出端，横移传动组件能够将第二驱动器输出的运动转换成横向往复运动，搬运臂与横移传动组件连接，搬运臂用于支撑待搬运片材。

可选地，搬运机构包括至少两组横移传动组件及至少两个搬运臂，至少两组横移传动组件分别间隔设于支架上，至少两组横移传动组件分别与第二驱动器的输出端连接；至少两个搬运臂分别与至少两个横移传动组件连接，至少两个搬运臂用于分别支撑待搬运片材的不同位置。

可选地，支架上设有轨道，搬运臂上设有滑块，滑块滑设于轨道上。

可选地，搬运机构还包括第三检测组件；第三检测组件包括起点检测器、终点检测器和第三被检测件，起点检测器和终点检测器分别安装于支架上，第三被检测件安装于搬运臂；搬运臂横向输送待搬运片材过程中，起点检测器与第三被检测件配合工作以检测搬运臂是否到达预设的起点位置，终点检测器与第三被检测件配合工作以检测搬运臂是否到达预设的终点位置。

可选地，升降机构的数量为二，两个升降机构的从动件分别连接于支架相对的两侧。