[实用新型]一种应用于激光刻印机的气浮导轨移动模组

说明书

本实用新型提供了一种应用于激光刻印机的气浮导轨移动模组，所述气浮导轨移动模组设置于所述激光刻印机的工作台上，并能够驱动激光器作X轴方向，Y轴方向，以及Z轴方向移动，气浮导轨移动模组包括：相互垂直设置的X轴移动模组，Y轴移动模组以及Z轴移动模组；所述Z轴移动模组固定连接有激光器，并通过所述直线电机驱动能够带动所述激光器沿Z轴方向作升降滑动。通过本实用新型所揭示的一种应用于激光刻印机的气浮导轨移动模组，通过在气浮导轨与溜板之间形成静压气浮状态，采用节流器的独特机制，采用直线电机驱动，能够减小激光器位移运动所产生的摩擦，避免热量与粘黏度对激光刻印移动过程的精度影响，能够降低驱动功率，保持高精度制造。

技术领域

本实用新型涉及激光设备技术领域，更具体涉及一种应用于激光刻印机的气浮导轨移动模组。

背景技术

激光是20世纪60年代的新光源，具有方向性好、亮度高、单色性好和高能量密度等特点。当前，国内激光市场主要分为激光加工设备、光通信器件与设备、激光测量设备、激光器、激光医疗设备、激光元部件等，其产品主要应用于工业加工和光通信市场，两者占据了近7成的市场空间。

我国激光应用领域将形成以激光加工、激光通信、激光医疗、激光显示、激光全息等为产业的激光产业群，行业发展前景看好。激光技术应用领域广泛，激光加工技术是利用激光束与物质相互作用的特性对材料(包括金属与非金属)进行切割、焊接、表面处理、打孔、微加工以及做为光源，识别物体等的一门技术，传统应用最大的领域为激光加工技术。激光打标：在各种材料和几乎所有行业均得到广泛应用，目前使用的激光器有YAG激光器、CO2激光器和半导体泵浦激光器。

而现有的激光设备变位三轴，采用传统滚动滑轨滑块进行移载导向，滚动导轨的摩擦大、抗震性差、运动不平稳、寿命低，是其在应用方面欠缺；由于激光器发射出的激光需要时刻精准于加工件面域及大幅面曲面的拼接，在刻印过程中采用传统滚动滑轨滑块进行移载导向的配置，其欠缺会使激光刻印的高精度需求不可实现。

有鉴于此，有必要对现有技术中设备结构予以改进，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于公开一种应用于激光刻印机的气浮导轨移动模组，通过在气浮导轨与溜板之间形成静压气浮状态，减小运动产生的摩擦，避免热量与粘黏度对激光刻印移动过程的精度影响，能够降低驱动功率，保持高精度制造。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种应用于激光刻印机的气浮导轨移动模组，其特征在于，所述气浮导轨移动模组设置于所述激光刻印机的工作台上，并能够驱动激光器作X轴方向，Y轴方向，以及Z轴方向移动，所述气浮导轨移动模组包括：相互垂直设置的X轴移动模组，Y轴移动模组以及Z轴移动模组；

所述Y轴移动模组包括沿水平纵向方向对称排布于工作台两端的两个第一导轨座，分别设置于所述第一导轨座上且通过直线电机驱动沿Y轴的方向作同步滑动的第一溜板，所述X轴移动模组包括沿水平横向方向间隔并列设置的第二导轨座，所述第二导轨座的两端分别固设于所述第一溜板上，所述第二导轨座相背的一侧分别设有通过直线电机驱动沿X轴的方向作同步滑动的第二溜板，所述第二导轨座的顶端与底端分别设有用于连接两个所述第二溜板的连接板，所述Z轴移动模组包括分别设置于所述第二导轨座的内侧且与所述连接板相垂直固定连接的两个第三溜板，设置于所述第三溜板之间且沿竖直方向垂直贯穿所述连接板的第三导轨座；

所述第三导轨座顶端固定连接有激光器，并通过所述直线电机驱动能够带动所述激光器沿Z轴方向作升降滑动。

作为本实用新型的进一步改进，所述X轴移动模组，Y轴移动模组以及Z轴移动模组均配置有气流器组件，通过所述气流器组件调整导轨座与溜板的接触面间形成的气膜。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一导轨座相对所述第一溜板的一面，所述第二导轨座相对所述第二溜板的一面以及所述第三导轨座相对所述第三溜板的一面均开设有凹槽，所述凹槽内布置有定位光栅尺。