[实用新型]一种应用于激光刻印机的气浮导轨移动模组

权利要求书

1.一种应用于激光刻印机的气浮导轨移动模组，其特征在于，所述气浮导轨移动模组设置于所述激光刻印机的工作台上，并能够驱动激光器作X轴方向，Y轴方向，以及Z轴方向移动，所述气浮导轨移动模组包括：相互垂直设置的X轴移动模组，Y轴移动模组以及Z轴移动模组；

所述Y轴移动模组包括沿水平纵向方向对称排布于工作台两端的两个第一导轨座，分别设置于所述第一导轨座上且通过直线电机驱动沿Y轴的方向作同步滑动的第一溜板，所述X轴移动模组包括沿水平横向方向间隔并列设置的第二导轨座，所述第二导轨座的两端分别固设于所述第一溜板上，所述第二导轨座相背的一侧分别设有通过直线电机驱动沿X轴的方向作同步滑动的第二溜板，所述第二导轨座的顶端与底端分别设有用于连接两个所述第二溜板的连接板，所述Z轴移动模组包括分别设置于所述第二导轨座的内侧且与所述连接板相垂直固定连接的两个第三溜板，设置于所述第三溜板之间且沿竖直方向垂直贯穿所述连接板的第三导轨座；

所述第三导轨座顶端固定连接有激光器，并通过所述直线电机驱动能够带动所述激光器沿Z轴方向作升降滑动。

2.根据权利要求1所述的一种应用于激光刻印机的气浮导轨移动模组，其特征在于：所述X轴移动模组，Y轴移动模组以及Z轴移动模组均配置有气流器组件，通过所述气流器组件调整导轨座与溜板的接触面间形成的气膜。

3.根据权利要求2所述的一种应用于激光刻印机的气浮导轨移动模组，其特征在于：所述第一导轨座相对所述第一溜板的一面，所述第二导轨座相对所述第二溜板的一面以及所述第三导轨座相对所述第三溜板的一面均开设有凹槽，所述凹槽内布置有定位光栅尺。

4.根据权利要求3所述的一种应用于激光刻印机的气浮导轨移动模组，其特征在于：所述第二导轨座的凹槽布置有直线电机。

5.根据权利要求3所述的一种应用于激光刻印机的气浮导轨移动模组，其特征在于：所述第三导轨座相对所述第三溜板的一面均开设有凹槽，两个所述凹槽还分别设有直线电机与制动抱闸组件。

6.根据权利要求1所述的一种应用于激光刻印机的气浮导轨移动模组，其特征在于：所述第一导轨座的底端还设有垫块，所述垫块的宽度小于所述第一导轨座的宽度，且所述第一溜板围合所述第一导轨座并与所述垫块的两侧相贴。

7.根据权利要求1所述的一种应用于激光刻印机的气浮导轨移动模组，其特征在于：还包括与所述第一溜板，第二溜板以及第三溜板相接通的供气系统，所述第一溜板，第二溜板以及第三溜板内部开设有气孔。