[实用新型]体声波谐振器、滤波器及双工器

权利要求书

1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括具有空腔的基底以及依次设于所述基底上的第一电极层、压电层和第二电极层，所述第一电极层通过贯穿设置于所述压电层内的引出金属引出至所述压电层靠近所述第二电极层的一侧；

其中，所述空腔、所述第一电极层、所述压电层和所述第二电极层在所述基底的厚度方向重叠的区域形成相互间隔的第一谐振区域和第二谐振区域；在所述第二谐振区域内，所述第一电极层靠近所述空腔的一面设有键合层。

2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，在所述第一谐振区域内的所述第一电极层和在所述第二谐振区域内的所述第一电极层互联，且在所述第一谐振区域内的所述第二电极层和在所述第二谐振区域内的所述第二电极层互联。

3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，在所述第一谐振区域内的所述第一电极层和在所述第二谐振区域内的所述第一电极层相互隔离，且在所述第一谐振区域内的所述第二电极层和在所述第二谐振区域内的所述第二电极层互联。

4.根据权利要求2或3所述的体声波谐振器，其特征在于，所述体声波谐振器还包括位于所述第二电极层和所述压电层之间的缓冲层，且所述缓冲层在所述基底上的正投影分别与所述第一谐振区域和所述第二谐振区域在所述基底上的正投影无交叠。

5.根据权利要求1至3任意一项所述的体声波谐振器，其特征在于，所述基底包括晶圆和位于所述晶圆上的键合材料，所述键合材料上设有用于形成所述空腔的凹槽，所述第一电极层位于所述键合材料远离所述晶圆的一面。

6.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极的材料分别为钼、铝、铂、银、钨和金中的任意一种。

7.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述压电层的材料为氮化铝、铌酸锂、钽酸锂以及锆钛酸铅中的任意一种。

8.一种滤波器，其特征在于，包括根据权利要求1至7中任一项所述的体声波谐振器。

9.一种滤波器，其特征在于，包括第一谐振器和与所述第一谐振器串联的第二谐振器，所述第一谐振器采用权利要求1至7中任一项所述的体声波谐振器，且所述第一谐振器在第一谐振区域内的第一电极层和在第二谐振区域内的所述第一电极层互联，在所述第一谐振区域内的第二电极层和在所述第二谐振区域内的所述第二电极层互联。

10.一种双工器，其特征在于，包括权利要求8所述的滤波器。