[实用新型]一种激光加工装置和激光加工系统

说明书

本实用新型提供了一种激光加工装置和激光加工系统，其中，激光加工装置包括控制器、电光调制器和多个光学调节结构，电光调制器包括电光晶体和偏振器；控制器用于调节电光晶体的状态，以使入射激光光束经过处于不同状态的电光晶体后偏振状态发生变化；偏振器用于将偏振状态不同的入射激光光束转化为对应的多个子光束；各光学调节结构位于对应子光束的光路上，光学调节结构用于调节对应子光束的光斑大小和/或焦点位置，各子光束经过对应光学调节结构后，分别形成加工光束；通过改变入射激光光束的偏振状态，即可获得的多路加工光束，多路加工光束能够各自独立的进行加工，减少了等待的时间从而提高了加工效率，从而提高了产能。

技术领域

本实用新型涉及激光加工技术领域，尤其涉及一种激光加工装置和激光加工系统。

背景技术

随着太阳能电池硅片的大小逐渐增大、激光开槽加工图形日益复杂，单张硅片的实际开槽面积逐渐增大，在加工速度、开槽线宽不变的情况下，必然导致加工时间的增长。与此同时，激光开槽设备要保证相对较高的加工精度。

为保证较高的加工精度，现有的硅片激光加工设备，一般采用一台激光器对应一台振镜进行加工，设备的加工速度取决于激光雕刻加工时间和硅片传输时间，由于硅片的传输只能采用机械方法，单个工位加工时，下一片硅片必须等候加工位上的硅片加工完毕才能传输到位，加工效率不够高，使得太阳能电池硅片产能难以提高。

实用新型内容

本实用新型的目标在于提供一种激光加工装置和激光加工系统，以解决硅片激光加工设备加工效率不够高，使得产能难以提高的问题。

提供一种激光加工装置，包括控制器、电光调制器和多个光学调节结构，电光调制器包括电光晶体和偏振器；

控制器用于调节电光晶体的状态，以使入射激光光束经过处于不同状态的电光晶体后偏振状态发生变化；偏振器用于将偏振状态不同的入射激光光束转化为对应的多个子光束；

各光学调节结构位于对应子光束的光路上，光学调节结构用于调节对应子光束的光斑大小和/或焦点位置，各子光束经过对应光学调节结构后，分别形成加工光束。

可选地，多个光学调节结构包括反射镜和扩束镜，反射镜用于调节各子光束的光路路径和准直情况，扩束镜用于调节子光束的光斑大小和/或焦点位置。

可选地，入射激光光束经过电光晶体调节后，入射激光光束经过处于不同状态的电光晶体后，形成具有不同偏振状态的第一光束和第二光束，第一光束和第二光束的光路重合；

第一光束经过偏振器后形成反射光束，第二光束经过偏振器后形成透射光束。

可选地，多个光学调节结构包括第一光学调节结构和第二光学调节结构；

第一光学调节结构位于反射光束的光路上，第一光学调节结构包括依次排列的第一反射镜、第一扩束镜和第二反射镜；

第二光学调节结构位于透射光束的光路上，第二光学调节结构包括依次排列的第三反射镜、第二扩束镜和第四反射镜。

可选地，第二光学调节结构还包括第五反射镜，第五反射镜、第三反射镜、第二扩束镜和第四反射镜依次排列在透射光束的光路上。

可选地，激光加工装置还包括第一调光光阑，第一调光光阑位于电光调制器的前方。

可选地，激光加工装置还包括第二调光光阑、第三调光光阑，第二调光光阑和第三调光光阑分别位于反射光束、透射光束的光路上。

可选地，激光加工装置还包括准直调节单元，准直调节单元位于光源和电光调制器之间，光源射出的激光光束经过准直调节单元调节准直后，形成电光调制器的入射激光光束。

可选地，准直调节单元包括依次排列的第六反射镜和第七反射镜。