[实用新型]一种激光加工装置和激光加工系统

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，包括控制器、电光调制器和多个光学调节结构，所述电光调制器包括电光晶体和偏振器；

所述控制器用于调节所述电光晶体的状态，以使入射激光光束经过处于不同状态的所述电光晶体后偏振状态发生变化；所述偏振器用于将偏振状态不同的所述入射激光光束转化为对应的多个子光束；

各所述光学调节结构位于对应所述子光束的光路上，所述光学调节结构用于调节对应所述子光束的光斑大小和/或焦点位置，各所述子光束经过对应所述光学调节结构后，分别形成加工光束。

2.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述多个光学调节结构包括反射镜和扩束镜，所述反射镜用于调节各所述子光束的光路路径和准直情况，所述扩束镜用于调节所述子光束的光斑大小和/或焦点位置。

3.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述入射激光光束经过处于不同状态的所述电光晶体后，形成具有不同偏振状态的第一光束和第二光束，所述第一光束和所述第二光束的光路重合；

所述第一光束经过所述偏振器后形成反射光束，所述第二光束经过所述偏振器后形成透射光束。

4.如权利要求3所述的激光加工装置，其特征在于，所述多个光学调节结构包括第一光学调节结构和第二光学调节结构；

所述第一光学调节结构位于所述反射光束的光路上，所述第一光学调节结构包括依次排列的第一反射镜、第一扩束镜和第二反射镜；

所述第二光学调节结构位于所述透射光束的光路上，所述第二光学调节结构包括依次排列的第三反射镜、第二扩束镜和第四反射镜。

5.如权利要求4所述的激光加工装置，其特征在于，所述第二光学调节结构还包括第五反射镜，所述第五反射镜、所述第三反射镜、所述第二扩束镜和第四反射镜依次排列在所述透射光束的光路上。

6.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述激光加工装置还包括第一调光光阑，所述第一调光光阑位于所述电光调制器的前方。

7.如权利要求3所述的激光加工装置，其特征在于，所述激光加工装置还包括第二调光光阑、第三调光光阑，所述第二调光光阑和所述第三调光光阑分别位于所述反射光束、所述透射光束的光路上。

8.如权利要求1-7任一项所述的激光加工装置，其特征在于，所述激光加工装置还包括准直调节单元，所述准直调节单元位于光源和所述电光调制器之间，所述光源射出的激光光束经过所述准直调节单元调节准直后，形成所述电光调制器的入射激光光束。

9.如权利要求8所述的激光加工装置，其特征在于，所述准直调节单元包括依次排列的第六反射镜和第七反射镜。

10.一种激光加工系统，其特征在于，包括用于发出激光光束的光源、多个振镜和如权利要求1-9任一项所述的激光加工装置，所述激光加工装置位于所述激光光束的光路上，所述光源发出的激光光束经所述激光加工装置后，形成多个加工光束并投射至对应所述振镜上，经所述振镜作用后投射至对应的加工工位。