[实用新型]LED外延片的可调节式定位治具有效

专利信息
申请号: 202220028196.5 申请日: 2022-01-06
公开(公告)号: CN217009165U 公开(公告)日: 2022-07-19
发明(设计)人: 周建业 申请(专利权)人: 东莞市同和光电科技有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L33/00
代理公司: 广东合方知识产权代理有限公司 44561 代理人: 陈正兴
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: led 外延 调节 定位
【说明书】:

实用新型涉及LED外延片调节技术领域,尤其是涉及一种LED外延片的可调节式定位治具,包括板体和吸附装置,吸附装置包括气缸和若干吸气管,吸气管的一端为底盘,吸气管的一端为开口,开口贯穿吸气管延伸至底盘的表面,通过气缸产生吸附力,使吸气管进行吸附工作,吸气管带动表面安装有用于调节LED外延片的调节顶盖,采用多个吸气管对LED外延片进行吸附,可一次生产多个LED外延片,提高生产效率和节约时间成本;调节顶盖的尺寸大小可设定为与LED外延片的尺寸大小一致,通过转动调节顶盖,对吸附能力进行调节,将吸附在转动调节表面的LED外延片与调节顶盖的进行边界对齐,从而达到调整LED外延片的效果,同时确保LED外延片的尺寸大小和合格率。

技术领域

本实用新型涉及LED外延片调节技术领域,尤其是指LED外延片的可调节式定位治具。

背景技术

LED外延片生长的基本原理是:在一块加热至适当温度的衬底基片(主要有蓝宝石和、SiC、Si)上,气态物质InGaAlP有控制的输送到衬底表面,生长出特定单晶薄膜。目前LED外延片生产技术主要采用有机金属化学气相沉积方法。

LED外延片衬底材料是半导体照明产业技术发展的基石。不同的衬底材料,需要不同的LED外延片生长技术、芯片加工技术和器件封装技术,衬底材料决定了半导体照明技术的发展路线。

但现有生产LED外延片的工艺中,关于调节LED外延片的方式还存在缺陷,一方面没有合适的治具进行辅助调节,另一方面,辅助用的治具生产LED外延片的效率并不高,为此,我们提出了LED外延片的可调节式定位治具,以解决上述提出的技术问题。

实用新型内容

实用新型为克服上述情况不足,旨在提供一种能解决上述问题的技术方案。

LED外延片的可调节式定位治具,包括板体和吸附装置,所述板体的中部设有嵌板,吸附装置包括气缸和若干吸气管,吸气管的一端为底盘,吸气管的一端为开口,开口贯穿吸气管延伸至底盘的表面,气缸的一端位于嵌板的一端,气缸的另一端穿过嵌板与底盘的表面贴合,通过气缸产生吸附力,使吸气管进行吸附工作,吸气管带动表面安装有用于调节LED外延片的调节顶盖,调节顶盖的尺寸大小可设定为与LED外延片的尺寸大小一致,通过转动调节顶盖,对吸气管的吸附能力进行调节,将吸附在转动调节表面的LED外延片与调节顶盖的进行边界对齐,从而达到调整LED外延片的效果,同时确保LED外延片的尺寸大小和合格率。

所述调节顶盖的表面设有若干个与吸气管配对安装的吸气孔,吸气孔的外径尺寸小于吸气管的外径尺寸,调节顶盖的一端与吸气管的表面贴合,通过调节顶盖与吸气管贴合的方式,避免吸气管的一端卡接在吸气孔的内壁,从而导致调节顶盖无法转动。

所述嵌板的表面设有把手,把手结构对称的安装于嵌板的表面,且与嵌板进行固定连接,通过对把手施加作用力,可将嵌板和板体移动至其它地方。

所述板体的表面设有松紧装置,松紧装置包括限位板和夹具,夹具的一端通过转轴沿着限位板的内壁进行移动,夹具的表面设有用于对限位板进行限定的定位板。

所述嵌板的表面设有若干个用于安装底盘的安装槽,相邻的两个安装槽之间间距相等。

所述板体的表面设有若干个用于对板体进行安装或拆卸的连接孔,通过连接孔连接螺丝可将板体固定于其它设备的表面。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:采用多个吸气管对LED外延片进行吸附,可一次生产多个LED外延片,提高生产效率和节约时间成本;

另一方面,调节顶盖的尺寸大小可设定为与LED外延片的尺寸大小一致,通过转动调节顶盖,对吸气管的吸附能力进行调节,将吸附在转动调节表面的LED外延片与调节顶盖的进行边界对齐,从而达到调整LED外延片的效果,同时确保LED外延片的尺寸大小和合格率。

附图说明

图1是本实用新型实施例的LED外延片的可调节式定位治具的示意图;

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