[实用新型]一种制备超净高纯电子级氢氟酸的连续制备系统有效

专利信息
申请号: 202220005218.6 申请日: 2022-01-05
公开(公告)号: CN216863645U 公开(公告)日: 2022-07-01
发明(设计)人: 张保平;杨忠飞 申请(专利权)人: 云南氟磷电子科技有限公司
主分类号: C01B7/19 分类号: C01B7/19
代理公司: 北京华际知识产权代理有限公司 11676 代理人: 邓荣贵
地址: 650300 云南省昆明市安宁*** 国省代码: 云南;53
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摘要:
搜索关键词: 一种 制备 净高 电子 氢氟酸 连续 系统
【权利要求书】:

1.一种制备超净高纯电子级氢氟酸的连续制备系统,包括粉碎机和浓硫酸存储罐,其特征在于:所述粉碎机的出料端通过拉链输送机连接有烘干机,所述烘干机的输出端通过管道连接有中间罐,所述中间罐的输出端通过管道连接有转子秤,所述转子秤的输出端通过管道连接有回转式加热炉,所述回转式加热炉的另一输入端通过管道连接有流量变送器,所述流量变送器的输入端通过管道与浓硫酸存储罐连通,所述回转式加热炉的输出端通过管道连接有粗馏塔,所述粗馏塔的输出端通过管道连接有硫酸吸附塔一,所述硫酸吸附塔一的输出端通过管道连接有冷凝器一,所述冷凝器一的输出端通过管道连接有精馏塔一,所述精馏塔一的输出端通过管道连接有硫酸吸附塔二,所述硫酸吸附塔二的输出端通过管道连接有冷凝器二,所述冷凝器二的输出端通过管道连接有精馏塔二,所述精馏塔二的输出端通过管道连接有喷淋吸收塔,所述喷淋吸收塔的输出端通过管道连接有一级膜过滤,所述一级膜过滤的输出端通过管道连接有二级膜过滤,所述二级膜过滤的输出端通过管道连接有存储罐。

2.根据权利要求1所述的一种制备超净高纯电子级氢氟酸的连续制备系统,其特征在于:所述粉碎机的来料为高纯度萤石矿,所述浓硫酸存储罐的输入端通过法兰盘固定连接有注入管道。

3.根据权利要求1所述的一种制备超净高纯电子级氢氟酸的连续制备系统,其特征在于:所述粗馏塔的另一输出端通过管道连接有废液箱,所述废液箱内存储的废料为未利用的萤石粉和硫酸混合物。

4.根据权利要求1所述的一种制备超净高纯电子级氢氟酸的连续制备系统,其特征在于:所述精馏塔一的另一输出端与精馏塔二的另一输出端通过管道连接有存储箱,所述存储箱内存储的物料为工业级氢氟酸。

5.根据权利要求1所述的一种制备超净高纯电子级氢氟酸的连续制备系统,其特征在于:所述存储罐内存储的物料为电子级氢氟酸,所述存储罐和存储箱均为密闭的大型塑料罐。

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