[发明专利]一种用于傅里叶光谱仪的摆镜结构及傅里叶光谱仪在审

专利信息
申请号: 202211726597.9 申请日: 2022-12-30
公开(公告)号: CN115962849A 公开(公告)日: 2023-04-14
发明(设计)人: 张林;林敏;刘如意;柏苑 申请(专利权)人: 光子集成(温州)创新研究院
主分类号: G01J3/02 分类号: G01J3/02;G01J3/45
代理公司: 西安迪业欣知识产权代理事务所(普通合伙) 61278 代理人: 校丽丽
地址: 325011 浙江省温州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 傅里叶 光谱仪 结构
【说明书】:

发明公开了一种用于傅里叶光谱仪的摆镜结构,包括两个轴承、机座、转轴、电机和摆镜单元;所述两个轴承相对设置,且每个轴承的外圈均固定于所述机座上;所述转轴的两端穿过所述轴承的内圈,并与所述内圈固定连接,所述转轴的中间与所述摆镜单元固定连接;所述电机与所述转轴连接,用于带动所述摆镜单元摆动。本发明采用转轴固定连接轴承内圈,使摆镜结构在绕转轴摆动时,轴承中心轴无漂移,结构简单且满足傅里叶光谱仪对其同心度的要求,避免轴承转动时中心漂移,影响摆镜驱动精度,继而影响光谱仪精度,本发明具有控制精确,结构简单,低成本的特点。

技术领域

本发明公开了一种用于傅里叶光谱仪的摆镜结构及傅里叶光谱仪,属于光学设备技术领域。

背景技术

傅里叶光谱仪工作时,经过准直的待测红外光束入射到干涉仪中,控制干涉仪中动镜的运动,获得不同光程差下的干涉图,将获得的干涉图进行傅里叶变换,就得到光束的红外光谱图。

干涉仪是傅里叶变换红外光谱仪的核心部件。干涉仪动镜的移动改变了形成干涉图的两束光的光程差,而光程差的大小也直接决定着光谱仪的分辨率。

现有傅里叶光谱仪中干涉仪动镜的移动通常采用十字弹簧轴承,十字弹簧轴承内部由两个相互垂直的弹簧片构成,相当于悬臂梁交叉垂直,当转动十字弹簧轴承时,弹簧内部提供复位弹力,但十字弹簧旋转时中心轴会发生漂移,中心轴发生漂移,影响摆镜结构的驱动精度,继而影响傅里叶光谱仪精度。

发明内容

本申请的目的在于,解决现有傅里叶光谱仪采用十字弹簧轴承,轴承中心轴产生漂移的技术问题。为实现上述目的,本发明提出了一种用于傅里叶光谱仪的摆镜结构,具体方案如下:

一种用于傅里叶光谱仪的摆镜结构,包括两个轴承、机座、转轴、电机和摆镜单元;

所述两个轴承相对设置,且每个轴承的外圈均固定于所述机座上;

所述转轴的两端穿过所述轴承的内圈,并与所述内圈固定连接,所述转轴的中间与所述摆镜单元固定连接;

所述电机与转轴连接,用于驱动所述摆镜单元摆动。

优选的,所述摆镜单元包括第一角镜、第二角镜和角镜连接臂;

所述第一角镜、所述第二角镜对称设置于所述角镜连接臂的两端;

所述角镜连接臂的中间与所述转轴固定连接。

优选的,还包括第一弹簧和第二弹簧;

所述第一弹簧的一端与所述第一角镜所在侧的角镜连接臂连接,另一端与所述机座连接;

所述第二弹簧的一端与所述第二角镜所在侧的角镜连接臂连接,另一端与所述机座连接;

所述第一弹簧和所述第二弹簧以所述角镜连接臂的中间为中心,呈中心对称设置。

优选的,所述第一弹簧与所述第二弹簧具有预压力。

优选的,所述第一弹簧和所述第二弹簧为压缩弹簧或拉伸弹簧。

优选的,所述轴承为滚动轴承或滑动轴承。

优选的,所述电机为音圈电机。

优选的,还包括电机座;

所述电机座固定在所述机座上,所述电机安装在所述电机座上。

一种傅里叶光谱仪,包括上述的用于傅里叶光谱仪的摆镜结构。

有益效果:本发明采用转轴固定连接轴承内圈,使摆镜结构在绕转轴摆动时,轴承中心轴无漂移,结构简单且满足傅里叶光谱仪对其同心度的要求,避免轴承转动时中心漂移,影响摆镜驱动精度,继而影响光谱仪精度,本发明具有控制精确,结构简单,低成本的特点。

附图说明

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