[发明专利]一种用于截断硅棒异形头部的支撑机构及其下料装置

说明书

本发明涉及一种用于截断硅棒异形头部的支撑机构，包括第一支撑单元和第二支撑单元。所述第一支撑单元能够沿硅棒加工平台朝向硅棒的首端运动，以对所述硅棒的首端的异形头部进行支撑。所述第二支撑单元与所述第一支撑单元固定连接以对所述异形头部的底端进行支撑。通过第一支撑单元和第二支撑单元均能够相对于硅棒支撑平台共同滑动，以朝向硅棒的首端运动，直至第一支撑单元与硅棒的首端端面相抵从硅棒的一端进行支撑，第二支撑单元与硅棒的首端的异形头部的底端进行支撑，两者的共同支撑以配合切割头进行切割硅棒的异形头部，无需人工手动支撑，提高了下料效率，而且相较于人工下料支撑方便，支撑效果更好。

技术领域

本发明涉及硅工件加工设备技术领域，尤其涉及一种用于截断硅棒异形头部的支撑机构及其下料装置。

背景技术

硅棒的成型包括硅棒的成长，即将单晶硅在单晶内处于熔融状态下，通过提拉头对熔融的单晶硅进行提拉冷却，形成硅棒。

由于硅棒的成型工艺是采用拉制，所以其在拉制过程中硅棒的前端极易出现圆锥形，且将该圆锥形头部命名为硅棒的异形头部。但是在后期对硅棒的截断加工过程中需要将硅棒的异形头部去除，以满足后续的硅棒截断成不同长度的硅棒，便于后续加工的需求。

但是目前对于硅棒的异形头部去除一般采用人工在异形头部的下方插入楔块，将异形的锥面处垫实后对其异形头部进行切割，人工支撑效果差。

发明内容

(一)要解决的技术问题

鉴于现有技术的上述缺点、不足，本发明提供一种用于截断硅棒异形头部的支撑机构及其下料装置，其解决了现有目前对于硅棒的异形头部去除一般采用人工在异形头部的下方插入楔块，将异形的锥面处垫实后对其异形头部进行切割，人工支撑效果差的技术问题。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本发明采用的主要技术方案包括：

一种用于截断硅棒异形头部的支撑机构，包括第一支撑单元和第二支撑单元；

所述第一支撑单元能够沿硅棒加工平台朝向硅棒的首端运动，以对所述硅棒的首端的异形头部进行支撑；

所述第二支撑单元与所述第一支撑单元固定连接以对所述异形头部的底端进行支撑。

可选地，所述第一支撑单元包括支撑底座、支撑连杆和头部支撑套；

所述支撑底座与所述硅棒加工平台滑动连接，所述支撑底座通过所述支撑连杆与所述头部支撑套相连。

可选地，所述第一支撑单元还包括旋转气缸；

所述旋转气缸固定安装于所述支撑底座的内腔，所述旋转气缸的输出端与所述支撑连杆固定连接，所述旋转气缸能够使所述支撑连杆沿其输出轴的轴线旋转，以带动所述头部支撑套旋转。

可选地，所述第二支撑单元包括底部支撑块和竖直调节结构件；

所述竖直调节结构件与所述底部支撑块相连，所述竖直调节结构件能够驱动所述底部支撑块升降。

可选地，所述竖直调节结构件包括连接板和升降气缸；

所述连接板的底部与所述升降气缸的伸出端固定连接，所述连接板的顶部与所述底部支撑块相连；

所述升降气缸能够驱动所述连接板升降。

可选地，所述头部支撑套的底部高于所述底部支撑块的顶部。

可选地，所述第二支撑单元还包括自适应结构件；

所述自适应结构件能够在横向方向产生弹力，以使所述底部支撑块与所述硅棒的头部底端相抵并固定所述底部支撑块。

可选地，