[发明专利]一种OHT小车调度方法、装置及终端

说明书

本发明公开了一种OHT小车调度方法、装置及终端，属于OHT小车调度领域。所述方法包括：首先考虑了运输OHT小车位置、空闲OHT小车数量和当前运输任务数量这些关键特性参数，建立有任务运输成本模型；其次建立有参数权重调节模型对搬运任务运输成本模型的参数权重进行自适应调节；最后根据任务运输成本模型，得到最优搬运任务和OHT小车的匹配方案，实现OHT的综合调度。在保证小车搬送物料安全的情况下，能显著减少OHT小车的等待时间，提高AMHS系统的整体搬送效率，从而提供晶圆工厂的生产效率，提高行业竞争力。

技术领域

本发明涉及OHT小车调度领域，特别涉及一种OHT小车调度方法、装置及终端。

背景技术

在半导体行业中，自动化物料搬送系统（AMHS）非常是提高半导体制造产率、成品率以及设备利用率的重要保证。尤其是对于实现了生产设备与设备之间自动搬送的全自动化半导体工厂，一个安全且高效自动化物料搬送系统可以大幅缩短在制品的等待时间，进而缩短晶圆产品的生产周期。

其中轨道是自动化物料搬送系统的重要组成部分，晶圆厂内设置了成百上千道的加工工艺，需要依赖AMHS系统中的多个物料搬送小车（OHT）通过轨道将物料在不同设备之间进行安全且精准传送，如何保证两个或多个物料搬送小车在轨道上能按照给定的指令高效且安全完成搬送任务则显得尤为重要。

AMHS系统软件调度算法负责所有物料搬运小车的任务分配，运行路径规划及控制。在相关技术中，大部分AMHS系统的软件调度算法在实际应用中还有大大改善和优化的空间，主要存在安全性能不高与整体搬运性能低下的特点，由此，对于本领域的技术人员，还有待对AMHS系统的软件调度算法进行优化，提升AMHS系统整体搬运效率和安全性。

发明内容

本发明提供了一种OHT小车调度方法、装置及终端，能够解决AMHS系统软件调度算法安全性能不高与整体搬运性能低下的问题。所述技术方案如下：

一方面，提供了一种OHT小车调度方法，所述方法适用于AMHS系统，所述方法包括：

当接收到运输任务指令时，获取等距小车动态分配输出值、预调度输出值和任务优先级输出值；

将所述等距小车动态分配输出值、所述预调度输出值和所述任务优先级输出值输入参数权重调节模型，输出第一权重系数、第二权重系数和第三权重系数；

根据所述第一权重系数、所述第二权重系数和所述第三权重系数调节任务运输成本模型的参数权重，所述参数包括运输OHT小车位置、空闲OHT小车数量和当前运输任务数量，且所述参数依次对应所述参数权重调节模型输出的权重系数；

根据所述任务运输成本模型输出最优运输成本值，所述最优运输成本值指示各任务与被分配OHT小车的调度关系。

另一方面，提供了一种OHT小车调度装置，所述装置适用于AMHS系统，所述装置包括：

任务启动模块，用于当接收到运输任务指令时，获取等距小车动态分配输出值、预调度输出值和任务优先级输出值；

权重系数模块，用于将所述等距小车动态分配输出值、所述预调度输出值和所述任务优先级输出值输入参数权重调节模型，输出第一权重系数、第二权重系数和第三权重系数；

模型调节模块，用于根据所述第一权重系数、所述第二权重系数和所述第三权重系数调节任务运输成本模型的参数权重，所述参数包括运输OHT小车位置、空闲OHT小车数量和当前运输任务数量，且所述参数依次对应所述参数权重调节模型输出的权重系数；

最优调度模块，用于根据所述任务运输成本模型输出最优运输成本值，所述最优运输成本值指示各任务与被分配OHT小车的调度关系。

另一方面，提供了一种终端，所述终端包括处理器和存储器；所述存储器存储有至少一条指令，所述至少一条指令用于被所述处理器执行以实现如上述方面所述的OHT小车调度方法。