[发明专利]建立LDMOS管等效电路的方法在审
| 申请号: | 202211531567.2 | 申请日: | 2022-12-01 |
| 公开(公告)号: | CN115935871A | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
| 发明(设计)人: | 王正楠 | 申请(专利权)人: | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号: | G06F30/3308 | 分类号: | G06F30/3308 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 唐嘉 |
| 地址: | 201203 上海市浦东新区中*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 建立 ldmos 等效电路 方法 | ||
一种建立LDMOS管等效电路的方法,所述LDMOS管包括:第一漏极和第一源极。建立LDMOS管等效电路的方法包括:建立原等效电路,所述原等效电路包括:等效MOS管、漏极寄生电阻和源极寄生电阻,所述等效MOS管包括:第二漏极和第二源极;所述漏极寄生电阻的第一端连接所述第一漏极,所述漏极寄生电阻的第二端连接所述第二漏极,所述源极寄生电阻的第一端连接所述第二源极,所述源极寄生电阻的第二端连接所述第一源极;将所述漏极寄生电阻的阻值修正为与第一修正值和第二修正值相关,所述第一修正值与所述第一漏极到所述第一源极之间的电压相关,所述第二修正值与所述第二漏极到所述第一源极之间的电压相关。
技术领域
本发明涉及集成电路领域,尤其涉及一种建立LDMOS管等效电路的方法。
背景技术
中国公开号为CN105160141B的专利文献公开了一种超高压场效应管子电路模型建模方法,如图1所示,左侧是LDMOS(横向扩散金属氧化物半导体)管的原等效电路,所述LDMOS管包括:第一漏极D和第一源极S。
所述原等效电路包括:等效MOS管M1、漏极寄生电阻R1和源极寄生电阻R2。所述漏极寄生电阻R1的第一端连接所述第一漏极D,所述漏极寄生电阻R1的第二端连接所述等效MOS管M1的漏极。所述源极寄生电阻R2的第一端连接所述等效MOS管M1的源极,所述源极寄生电阻R2的第二端连接所述第一源极S。
为便于理解漏极寄生电阻R1阻值r1的计算过程,在图1右侧虚框内,搭建了电路模型,包括串联的电压控制电压源ec1f和电阻Rnvd。电阻Rnvd的一端连接电压控制电压源ec1f,另一端接地。其中,电压控制电压源ec1f的电压数值随第一漏极D和第一源极S之间的电压Vds变化。具体如下:
r1=rds*(1.0+vr1*v(nvd,0)+vr2*v(nvd,0)*v(nvd,0))*(1+vv1*abs(v(d,s)))
v(nvd,0)='deltaV1-(deltaV2/(ec1/(abs(v(d,s)**a))+ec2*(abs(v(d,s))**b))**exp)'
其中,v(d,s)为电压Vds的电压值,rds为漏极寄生电阻R1的电阻估值,vr1、vr2为调节电流电压准饱和区幅度的修正系数,vv1为电压人为修正系数,deltaV1、deltaV2、ec1、ec2为数学修正系数,a、b、exp为指数修正系数。
上述专利文献将v(nvd,0)引入漏极寄生电阻R1阻值r1的表达式中,同时添加vr1、vr2来调节IDVD(LDMOS器件测试的常规曲线,指在第一漏极D施加电压并测试第一漏极D端的电流)修正系数,通过对所有系数的调整,可以很好的实现LDMOS在500V的条件下模型的连续性和物理延展性。
然而,依据上述专利文献建立的等效电路,在过渡区(线性区到准饱和区之间)的输出特性同实际数据较难拟合,即模拟获得的数据与实际物理数据不相符。
发明内容
本发明解决的问题是:依据现有LDMOS管等效电路模拟获得的数据与实际物理数据不相符。
为解决上述问题,本发明提供一种建立LDMOS管等效电路的方法,所述LDMOS管包括:第一漏极和第一源极。建立LDMOS管等效电路的方法包括:建立原等效电路,所述原等效电路包括:等效MOS管、漏极寄生电阻和源极寄生电阻,所述等效MOS管包括:第二漏极和第二源极;所述漏极寄生电阻的第一端连接所述第一漏极,所述漏极寄生电阻的第二端连接所述第二漏极,所述源极寄生电阻的第一端连接所述第二源极,所述源极寄生电阻的第二端连接所述第一源极;将所述漏极寄生电阻的阻值修正为与第一修正值和第二修正值相关,所述第一修正值与所述第一漏极到所述第一源极之间的电压相关,所述第二修正值与所述第二漏极到所述第一源极之间的电压相关。
与现有技术相比,本发明的技术方案具有以下优点:
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