[发明专利]一种石英板折弯工艺及其装置

说明书

本发明涉及一种石英板折弯装置，包括基座、可拆卸弹性压头组件、弹性压头、石墨板、伺服电机一、上喷头、下喷头、折弯托板、手动推杆和伺服电机二；本发明还涉及一种石英板折弯工艺，包括石英板折弯装置，还包括以下步骤:1)操作人员将石英板放置在基座上，将石英板折弯区域放置在上喷头和下喷头中间，将石英板固定；2)上喷头和下喷头点火，调节，确保石英板折弯区域处于火焰中。该石英板折弯工艺及其装置，从工艺上减少石英板焊接操作，自动化程度高，受热均匀，去除因加热不均匀造成的开裂，大大降低生产工时，提高效率和成品率；改善操作人员工作环境，降低劳动强度。

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，具体为一种石英板折弯工艺及其装置。

背景技术

石英材料及制品广泛应用于半导体芯片制程中，是半导体蚀刻、扩散、氧化等工序所需的承载器件与腔体耗材，目前石英腔体采用切割后的石英板材组立后焊接，用高温火焰(3000度以上的氢氧火焰)加热使石英玻璃焊棒和需要焊接的石英板两端同时熔融，石英玻璃焊棒填充焊缝，使焊接部位达到粘连，焊完后需退火。

石英焊接加工的速度慢，熔化石英焊棒，将焊接部位加热到焊接温度都需要一段时间，石英焊接对操作人员的要求比较高，一般从事5至8年的老师傅才能焊接出合格的产品，劳动强度大，火加工区域的工作环境高温，需要注意力高度集中，此外，加热不均匀还会造成应力集中，极易出现焊接不牢和加工过程开裂报废的问题，操作难度大、合格率不高，一直是困扰行业的难题。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种石英板折弯工艺及其装置，具备提高生产效率、减少开裂、降低劳动强度的优点，解决了劳动强度大，火加工区域的工作环境高温，需要注意力高度集中，极易出现焊接不牢和加工过程开裂报废的问题，操作难度大、合格率不高的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种石英板折弯装置，包括基座、可拆卸弹性压头组件、弹性压头、石墨板、伺服电机一、上喷头、下喷头、折弯托板、手动推杆和伺服电机二；

所述基座的顶部固定有石墨板，所述石墨板上滑动连接有可拆卸弹性压头组件，所述可拆卸弹性压头组件的底部活动安装有弹性压头，所述基座的顶部两侧还设置有凸板，两个所述凸板上转动连接有两组手动推杆，右侧所述手动推杆中连接有位于石墨板右侧的折弯托板，其中，两个凸板的相离一侧分别固定有贯穿右侧手动推杆的伺服电机一和伺服电机二，所述石墨板的上下两侧分别设置有上喷头和下喷头。

进一步，所述石墨板中开设有火焰喷射口，所述折弯托板表面固定有耐高温层。

进一步，所述可拆卸弹性压头组件包括滑条和螺丝，螺丝螺纹贯穿滑条与弹性压头连接，而滑条位于弹性压头的顶部。

进一步，所述伺服电机一和伺服电机二的输出轴分别与折弯托板的两侧固定连接。

进一步，所述石墨板的顶部前后两侧设有滑轨，而滑轨上滑动连接有与滑条底部固定的滑块。

一种石英板折弯工艺，包括石英板折弯装置，还包括以下步骤:

1)操作人员将石英板放置在基座上，将石英板折弯区域放置在上喷头和下喷头中间，将石英板固定；

2)上喷头和下喷头点火，调节，确保石英板折弯区域处于火焰中；

3)折弯区域达到一定温度后，上喷头关闭，下喷头继续开启，耐高温弹性压头移动到折弯区域附近，轻轻压紧石英板；

4)折弯托板在伺服电机一和伺服电机二的控制下缓缓提升，将石英板折到设置的角度；

5)关闭下喷头；

6)保持一段时间，待石英板的折弯处具有一定强度，放下折弯托板，移走弹性压头；