[发明专利]一种压力传感器高精度调试电路及调试方法在审

专利信息
申请号: 202211516983.5 申请日: 2022-11-30
公开(公告)号: CN115756072A 公开(公告)日: 2023-03-07
发明(设计)人: 赵鹏飞;邹治弢;盛健;高亦彤;徐博谦 申请(专利权)人: 华东光电集成器件研究所
主分类号: G05F1/567 分类号: G05F1/567
代理公司: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113 代理人: 杨晋弘
地址: 233030 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 压力传感器 高精度 调试 电路 方法
【说明书】:

本发明涉及一种压力传感器高精度调试电路,包括专用ASIC处理电路及其连接的电源和压力传感器,压力传感器连接标准压力源,其特征在于ASIC处理电路还连接了一个激励源补偿电路及温度采样电路。本发明在现有压力传感器批量调试的基础上,给专用ASIC处理电路增加激励补偿电路,通过恒流输出激励低温漂电阻的方法实现恒流源的温度校准,提升专用ASIC处理电路的激励精度,进而实现压力传感器产品的高精度调试,传感器批量调试精度提升0.2%FS以上。

技术领域:

本发明涉及传感器领域,具体是一种通过调整专用处理电路相关属性实现压力传感器的高精度调试试电路及调试方法。

背景技术:

压力传感器是现行各个工业体系中的一种非常重要基础感知部件,在高精度控制过程中对压力传感器的输出精度要求越来越高。现有的压力传感器批量调试技术主要采用专用处理电路的方式,在调试过程中记录外界标准压力与温度的变化状态,通过在不同温度点下的压力数据参数记录与线性校准计算,完成压力传感器产品的温度补偿,降低温度变化对传感器输出信号的影响。

经过对现有专利的检索,中国专利《压力传感器调试系统及其调试方法》(专利号CN103048087A),其调试方法与上述过程一致,其中没有提及在调试过程中专用处理电路自身温度漂移问题如何解决。

发明内容:

本发明的木就是为了解决现有技术中存在的处理电路自身温度漂移影响输出精度的问题,提供的一种压力传感器的高精度调试方法。

本发明采用的技术方案如下:

本发明提供的一种压力传感器高精度调试电路,包括专用ASIC处理电路及其连接的电源和连接压力传感器,压力传感器连接标准压力源;另外ASIC处理电路还连接了一个激励源补偿电路及温度采样电路。

进一步的,所述激励源补偿电路,包括:ASIC处理电路的一路恒流源IEXC1通过7脚将恒流激励源施加于压力传感器的IEXC1端,压力传感器另一对应端接地;ASIC处理电路的另一路恒流源IEXC2通过8脚将恒流激励源施加于补偿电阻网络RE一端,RE另一端接地。

进一步的,温度采样电路由电容Cs以及Cs两端连接的电阻R+和R-组成,电阻R+和R-的另一端分别连接ASIC处理电路的5脚和6脚,电容Cs两端的Vip、Vin分别和压力传感器的Vip、Vin端对应连接。

本发明还提供了一种压力传感器的高精度调试方法,具体步骤如下:

S1 接通电源,专用ASIC处理电路上电;

S2 将ASIC处理电路配置为双路恒流激励输出,一路恒流激励压力传感器,另外一路恒流激励源补偿电路;

S3 ASIC处理电路采样温度信号,根据温度信息完成激励源补偿;

S4 标准压力源向传感器施加标准压力,引起压力传感器输出信号变化;

S5 ASIC处理电路对压力传感器输出信号进行采样;

S6 改变外部温度环境,使ASIC完成三温状态信息记录;

S7 线性化方程解算完成高精度校准。

本发明的有益效果

本发明在现有压力传感器批量调试的基础上,给专用ASIC处理电路增加激励补偿电路,通过恒流输出激励低温漂电阻的方法实现恒流源的温度校准,提升专用ASIC处理电路的激励精度,进而实现压力传感器产品的高精度调试,传感器批量调试精度提升0.2%FS以上。

附图说明:

下面结合附图,对本发明进一步说明。

图1是本发明的总体示意框图;

图2是本发明的电路原理图。

具体实施方式:

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