[发明专利]检测机构、生产设备及其检测方法在审

专利信息
申请号: 202211499565.X 申请日: 2022-11-28
公开(公告)号: CN116165207A 公开(公告)日: 2023-05-26
发明(设计)人: 李翔;糜珂;胡磊;姚京;左敏;赵昂璧 申请(专利权)人: 江苏微导纳米科技股份有限公司
主分类号: G01N21/892 分类号: G01N21/892;C23C14/54;C23C14/56;G01N21/01
代理公司: 华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 张丹
地址: 214000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 检测 机构 生产 设备 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种检测机构,其特征在于,包括:

检测光源,用于在设定平面上形成有光照区;

至少一个图像获取部件,用于获取途径所述光照区的被检件的被检图像;

其中,全部所述图像获取部件被配置为能够从至少两个拍摄角度获取每一所述被检件的至少两个所述被检图像。

2.根据权利要求1所述的检测机构,其特征在于,所述拍摄角度包括第一拍摄角度,所述第一拍摄角度表征所述图像获取部件的拍摄方向与所述设定平面的夹角;

其中,全部所述图像获取部件被配置为能够从至少两个所述第一拍摄角度获取每一所述被检件的至少两个所述被检图像。

3.根据权利要求2所述的检测机构,其特征在于,在平行于所述设定平面的第一方向上,间隔布置有至少两个所述图像获取部件;

在所述第一方向上,各相邻所述图像获取部件的所述第一拍摄角度不同,并分别用于获取在所述第一方向上的不同位置的同一所述被检件所述被检图像。

4.根据权利要求2所述的检测机构,其特征在于,各所述图像获取部件被构造为能够绕平行于所述设定平面的第二方向的方向自转,以改变所述图像获取部件的第一拍摄角度;

各所述图像获取部件在绕所述第二方向在至少两个第一拍摄角度之间切换时,能够分别获取在第一方向上的不同位置的同一所述被检件的所述被检图像;

所述第一方向与所述第二方向相垂直。

5.根据权利要求1所述的检测机构,其特征在于,所述拍摄角度包括第二拍摄角度,所述第二拍摄角度表征在所述设定平面上的投影,所述图像获取部件的拍摄方向与第一方向的夹角;

至少一个所述图像获取部件被构造为能够环绕垂直于所述设定平面的第三方向自转,以在至少两个所述第二拍摄角度之间切换,并分别获取同一所述被检件在第二方向上的不同区域的所述被检图像;或,至少一个图像获取部件被构造为能够沿环绕所述第三方向设置的拍摄轨迹移动,并从至少两个所述第二拍摄角度获取同一所述被检件的被检图像;

所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直。

6.根据权利要求1所述的检测机构,其特征在于,所述检测光源为线性光源,所述线性光源的出光面沿第二方向延伸设置,所述第二方向平行所述设定平面,所述出光面用于发射非平行光线。

7.根据权利要求1所述的检测机构,其特征在于,所述检测机构包括反射光源,所述反射光源与所述图像获取部件位于所述设定平面的相同一侧;

所述反射光源形成的所述光照区为反射光照区,至少部分所述图像获取部件用于获取途径所述反射光照区的所述被检件的所述被检图像。

8.根据权利要求7所述的检测机构,其特征在于,所述检测机构还包括透射光源,所述透射光源与反射光源布置于所述设定平面的相反两侧;

所述透射光源在所述设定平面形成的光照区为透射光照区,至少部分所述图像获取部件用于获取途径所述透射光照区的所述被检件的所述被检图像。

9.根据权利要求8所述的检测机构,其特征在于,所述反射光照区和所述透射光照区在所述第一方向上依次布置;所述第一方向平行所述设定平面。

10.根据权利要求1所述的检测机构,其特征在于,在平行于所述设定平面的第二方向上,间隔布置有至少两个所述图像获取部件。

11.一种生产设备,其特征在于,包括:

输送装置,用于输送被检件;

处理装置,位于所述被检件的输送路径上,用于对所述被检件的表面进行处理;及

检测机构,包括:

检测光源,用于在设定平面上形成光照区;

至少一个图像获取部件,用于获取途径所述光照区内的所述被检件的被检图像;

其中,全部所述图像获取部件被配置为能够从至少两个拍摄角度获取每一所述被检件的所述被检图像。

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