[发明专利]热炉炉体

说明书

本发明公开了一种热炉炉体，该热炉炉体包括保温体、支撑装置和加热装置，支撑装置沿保温体的轴向方向延伸且与保温体连接，加热装置与保温体可拆卸连接。该热炉炉体的加热装置与保温体可拆卸连接，加热装置损坏时不需要更换整段保温体，只需要将加热装置从保温体上拆下更换即可，提升了更换效率和维修效率。

技术领域

本发明涉及半导体制造设备技术领域，尤其涉及一种热炉炉体。

背景技术

高温热炉是半导体制造技术领域的常用设备，目前的高温热炉一般采用通电螺旋加热丝在高温热炉的炉体内形成高温热场，为了确保高温热场的稳定性，高温热炉的炉体通常具有保温体，而螺旋加热丝安装在保温体上的安装槽内。在实际生产制造中，一般用吸覆成形技术，把螺旋加热丝与保温体做成一个整体，这种结构需要将制造保温体的模具覆盖在螺旋加热丝上并且固定，此固定方式需要的时间相当长，很浪费时间，降低了热炉炉体的组装效率，并且当螺旋加热丝损坏后，由于保温体和螺旋加热丝为一体式结构，很难更换螺旋加热丝。

发明内容

本发明的目的在于提出一种热炉炉体，该热炉炉体的加热装置与保温体可拆卸连接，在提升热炉炉体的组装效率的同时还能够方便加热装置更换。

为实现上述技术效果，本发明的技术方案如下：

本发明公开了热炉炉体，包括：保温体；支撑装置，所述支撑装置沿所述保温体的轴向方向延伸且与所述保温体连接；加热装置，所述加热装置与所述保温体可拆卸连接。

在一些实施例中，所述支撑装置为支架，所述保温体沿其轴向的一端设置第一固定环，所述第一固定环上设有第一固定部，所述支架与所述第一固定部配合。

在一些具体的实施例中，每个所述支架包括支杆和卡接块，所述支杆的一端与所述第一固定部配合，所述卡接块与所述支杆相连，且所述卡接块上设有卡槽，所述卡槽卡接所述加热装置。

在一些更具体的实施例中，所述卡接块包括套筒部和卡接部，所述套筒部套设于所述支杆，所述卡接部具有所述卡槽。

在一些更具体的实施例中，所述卡槽包括开口部和限位部，所述螺旋加热丝能够从所述开口部卡入所述卡接块以使所述加热装置配合于所述限位部。

在一些具体的实施例中，所述支架为支撑管，所述保温体沿其轴向的另一端设置第二固定环，所述第二固定环上设有第二固定部，所述支架的另一端与所述第二固定部配合，所述加热装置沿所述保温体的轴向螺旋延伸设置且所述加热装置套设于所述支架。

在一些更具体的实施例中，所述第一固定环与所述第二固定环中的至少一个为法兰盘，所述法兰盘与所述保温体相连，所述第一固定部和所述第二固定部为所述法兰盘的法兰孔。

在一些实施例中，所述加热装置为螺旋加热丝。

在一些具体的实施例中，所述螺旋加热丝为多个，且沿所述保温体的周向设置，每个所述螺旋加热丝沿所述保温体的轴向螺旋延伸设置。

在一些更具体的实施例中，所述支撑装置为多个，且每个所述螺旋加热丝套设在一个所述支撑装置上。

在一些具体的实施例中，多个所述螺旋加热丝沿所述保温体的轴向设置，每个所述螺旋加热丝沿所述保温体的周向螺旋延伸设置。

在一些更具体的实施例中，所述支撑装置为多个，且沿所述保温体的周向设置，在同一个圆周面上，多个所述支撑装置与一个所述螺旋加热丝相连。

在一些实施例中，所述保温体包括一体成型的保温筒体或者多段连接的保温筒体。