[发明专利]一种能够低温变温测试的测试探针台及其操作方法

权利要求书

1.一种能够低温变温测试的测试探针台，其特征在于，包括水平稳定平台(1)，所述水平稳定平台(1)的顶部固定连接有保护罩组件(2)，所述保护罩组件(2)包括与水平稳定平台(1)顶部固定连接的保护环(21)，所述保护环(21)的顶部开设有连接槽(22)，所述连接槽(22)的内表面活动连接有密封圈(23)，所述密封圈(23)的顶部固定连接有隔热保护罩(24)，所述隔热保护罩(24)两侧的中间均固定连接有同步板(25)，所述同步板(25)的底部固定连接有衔接折板(26)，所述水平稳定平台(1)的顶部固定连接有放置组件(3)，所述水平稳定平台(1)底部连通有冷气输入组件(4)，所述保护罩组件(2)内壁的顶部固定连接有移动组件(5)，所述水平稳定平台(1)底部的两侧均固定连接有支撑底座(6)。

2.根据权利要求1所述的能够低温变温测试的测试探针台，其特征在于，所述水平稳定平台(1)两侧的顶部均固定连接有侧面托板(27)，所述侧面托板(27)的顶部通过旋转轴转动连接有竖直轴(28)。

3.根据权利要求2所述的能够低温变温测试的测试探针台，其特征在于，所述竖直轴(28)的表面固定连接有下压折板(29)，所述下压折板(29)表面的一侧固定连接有操作手柄(210)。

4.根据权利要求1所述的能够低温变温测试的测试探针台，其特征在于，所述放置组件(3)包括与水平稳定平台(1)顶部中间固定连接的放置块(31)，所述放置块(31)顶部的中间开设有芯片放置槽(32)，所述芯片放置槽(32)内壁底部的两侧均固定连接有放置板(33)，所述芯片放置槽(32)内壁的两侧固定连接有夹持弹片(34)。

5.根据权利要求1所述的能够低温变温测试的测试探针台，其特征在于，所述冷气输入组件(4)包括与水平稳定平台(1)底部连通的主体引导管(41)，所述主体引导管(41)的底部连通有单向导通管(42)，所述单向导通管(42)内壁的顶部固定连接有通过槽板(43)，所述通过槽板(43)的底部固定连接有限制引导杆(44)，所述单向导通管(42)内壁的两侧均固定连接有固定挡板(45)，所述固定挡板(45)底部的一侧固定连接有密封弹簧(46)，所述密封弹簧(46)的底端固定连接有伴随板(47)，所述伴随板(47)的一侧固定连接有活动套(48)，所述活动套(48)的内表面与限制引导杆(44)的表面活动连接，所述活动套(48)的底部固定连接有密封块(49)，所述单向导通管(42)内壁的底部固定连接有密封隔离圈(410)，所述单向导通管(42)的底部连通有衔接螺纹管(411)。

6.根据权利要求1所述的能够低温变温测试的测试探针台，其特征在于，所述移动组件(5)包括与保护罩组件(2)内壁顶部中间固定连接的轨道板(51)，所述轨道板(51)的表面开设有轨道槽(52)，所述轨道板(51)的表面活动连接有移动套(53)，所述移动套(53)内壁的两侧均固定连接有动力轮(54)。

7.根据权利要求1所述的能够低温变温测试的测试探针台，其特征在于，所述移动套(53)底部固定连接有伸缩杆(55)，所述伸缩杆(55)的底端固定连接有探针(56)。

8.一种能够低温变温测试的测试探针台的操作方法，其特征在于，具体包括如下步骤：

步骤1：将衔接螺纹管(411)与外界液氮连通，将芯片放置在放置块(31)中芯片放置槽(32)表面，芯片表面两侧被夹持弹片(34)稳定夹持；

步骤2：开启衔接螺纹管(411)向单向导通管(42)中输入降温液体液氮，液氮推动密封块(49)移动，密封块(49)移动同时带动伴随板(47)移动，伴随板(47)挤压固定挡板(45)一侧的密封弹簧(46)，活动套(48)在限制引导杆(44)表面滑动，液氮直接流向通过槽板(43)，最终通过主体引导管(41)最终进入隔热保护罩(24)的内壁；

步骤3：开启移动套(53)内壁的动力轮(54)，动力轮(54)在轨道槽(52)中滚动，进而带动伸缩杆(55)移动至合适位置，伸长伸缩杆(55)带动探针(56)对芯片进行检测，；

步骤4：手持操作手柄(210)，围绕侧面托板(27)转动竖直轴(28)，将下压折板(29)与衔接折板(26)分离，上拉同步板(25)，将密封圈(23)与连接槽(22)分离，将隔热保护罩(24)取下，对芯片放置槽(32)中芯片拿取放置，然后将隔热保护罩(24)复原，继续工作，当装置工作完全结束，将装置复原。