[发明专利]一种具有纳米孔和微流道结构的生物芯片及其制备方法

权利要求书

1.一种具有纳米孔和微流道结构的生物芯片，其特征在于，所述生物芯片包括：

基底，所述基底具有第一区域和待形成芯片的第二区域，所述第一区域具有多个纳米孔；

与所述基底相对设置的盖板，所述盖板与所述基底之间形成微流道，所述微流道包括第一微流道区域和第二微流道区域，所述第一微流道区域的尺寸大于所述第二微流道区域的尺寸；

位于所述纳米孔远离所述微流道一侧的第一电极，以及位于所述微流道远离所述基底一侧的第二电极；

其中，细胞从所述第一微流道区域指向所述第二微流道区域的方向流动。

2.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，多个所述纳米孔点阵排布。

3.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，所述基底为硅材料基底；所述盖板为玻璃盖板。

4.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，所述第二区域的背面具有第一加强筋和第二加强筋；

所述第一加强筋沿第一方向延伸，且沿第二方向依次排布；

所述第二加强筋沿所述第二方向延伸，且沿所述第一方向依次排布；

所述第一方向和所述第二方向相交。

5.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，所述第一微流道区域包括第一区域和第二区域；

在所述第一区域，所述盖板与所述基底之间的距离相等；

在所述第二区域，所述盖板与所述基底之间的距离逐渐减小。

6.根据权利要求5所述的生物芯片，其特征在于，在所述第二微流道区域，所述盖板与所述基底之间的距离相等；

在所述第二区域，所述盖板与所述基底之间距离的最小值为H1；

在所述第二微流道区域，所述盖板与所述基底之间的距离为H2；

其中，H1＝H2。

7.一种具有纳米孔和微流道结构的生物芯片的制备方法，其特征在于，用于制备权利要求1-6任一项所述的生物芯片，所述制备方法包括：

提供一基底，所述基底具有第一区域和待形成芯片的第二区域；

对所述基底进行处理在所述第一区域上形成多个纳米孔；

提供一盖板并对所述盖板进行处理，在所述盖板和所述基底键合后在所述盖板与所述基底之间形成微流道，所述微流道包括第一微流道区域和第二微流道区域，所述第一微流道区域的尺寸大于所述第二微流道区域的尺寸；

其中，位于所述纳米孔远离所述微流道的一侧还制备有第一电极，以及位于所述微流道远离所述基底的一侧还制备有第二电极；细胞从所述第一微流道区域指向所述第二微流道区域的方向流动。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，在形成所述纳米孔之后，所述制备方法还包括：

在所述第二区域的背面形成第一加强筋和第二加强筋；所述第一加强筋沿第一方向延伸，且沿第二方向依次排布；所述第二加强筋沿所述第二方向延伸，且沿所述第一方向依次排布；所述第一方向和所述第二方向相交。