[发明专利]一种用于水射流激光的手动双面切割晶锭的工装有效

专利信息
申请号: 202211362637.6 申请日: 2022-11-02
公开(公告)号: CN115401343B 公开(公告)日: 2023-03-14
发明(设计)人: 杨森;张聪;陈磊;薛健飞;程斐斐;张贵龙;崔红恩;张晨旭 申请(专利权)人: 西安晟光硅研半导体科技有限公司
主分类号: B23K26/38 分类号: B23K26/38;B23K26/08;B23K26/402;B23K26/70
代理公司: 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 代理人: 辛菲
地址: 710003 陕西省西安市国家民用航天产业基*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 水射流 激光 手动 双面 切割 工装
【权利要求书】:

1.一种用于水射流激光的手动双面切割晶锭的工装,其特征在于,包括:

底座;

旋转组件,安装在所述底座上,所述旋转组件用于调整晶锭的水平位置;所述旋转组件包括平台转接板和滑块,其中,所述平台转接板固定在所述底座上;所述滑块与所述平台转接板可转动连接,实现所述滑块在所述平台转接板所在平面内旋转;

角度控制组件,设置在所述旋转组件上,所述角度控制组件用于调整所述晶锭的俯仰角度;所述角度控制组件为角向滑台;

翻转组件,设置在所述角度控制组件上,所述翻转组件用于在切割过程中实现晶锭翻转;所述翻转组件包括轴承座、两个自润滑轴承、翻面转轴和翻转限位组件,其中,所述轴承座与所述角向滑台的角向滑块固定连接,所述轴承座上对称设置有两个安装孔;两个所述自润滑轴承固定安装在对应的安装孔内;所述翻面转轴依次穿过两个所述自润滑轴承,并与所述自润滑轴承连接;所述翻面转轴的第一端连接所述晶锭夹持组件,第二端连接所述翻转限位组件;所述轴承座上设置有限位挡件,所述限位挡件位于所述翻转限位组件所在一侧的安装孔的下方;

所述翻转限位组件包括连接件,其中,所述连接件中部设置有连接孔,所述连接件通过所述连接孔与所述翻面转轴的第二端固定连接,通过转动所述连接件实现所述翻面转轴转动;所述连接件上对称设置有两个凸出部,在所述翻面转轴转动时,所述凸出部与所述限位挡件配合实现对所述翻面转轴的限位;

位于所述翻转限位组件所在一侧的安装孔的两侧设置有第一定位孔和第二定位孔;所述第一定位孔和所述第二定位孔对称设置,所述安装孔的轴线、所述第一定位孔的轴线以及所述第二定位孔的轴线位于同一水平面上;所述连接件上设置有定位销孔,在所述连接件转动180°时,所述定位销孔与所述第一定位孔或所述第二定位孔重合;

晶锭夹持组件,与所述翻转组件连接,所述晶锭夹持组件用于夹持所述晶锭。

2.根据权利要求1所述的用于水射流激光的手动双面切割晶锭的工装,其特征在于,所述角向滑台,包括螺旋锁扣、滑台本体和角向滑块,其中,

所述滑台本体与所述滑块固定连接,所述滑台本体上设置有圆弧状滑轨;

所述角向滑块位于所述滑台本体上,所述螺旋锁扣的一端穿过所述滑台本体与所述角向滑块连接;

通过旋转所述螺旋锁扣控制所述角向滑块在所述滑台本体上沿圆弧状滑轨滑动,用于调整所述晶锭的俯仰角度。

3.根据权利要求1所述的用于水射流激光的手动双面切割晶锭的工装,其特征在于,所述翻转限位组件还包括定位销,所述定位销穿过所述定位销孔以及与所述定位销孔重合的定位孔,用于固定所述连接件。

4.根据权利要求1所述的用于水射流激光的手动双面切割晶锭的工装,其特征在于,所述晶锭夹持组件包括转接板、第一夹持组件和第二夹持组件,其中,所述转接板的第一侧与所述翻面转轴的第一端连接;

所述转接板的第二侧的两端对称设置有所述第一夹持组件和所述第二夹持组件。

5.根据权利要求1所述的用于水射流激光的手动双面切割晶锭的工装,其特征在于,所述用于水射流激光的手动双面切割晶锭的工装还包括升降台,用于在加工过程中承托所述晶锭。

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